lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000
超快質(zhì)量流量控制器，響應(yīng)時間為200毫秒。
熱傳感器實(shí)現(xiàn)100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。
它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以選擇數(shù)字通信方式DeviceNet和EtherCAT進(jìn)行。
長處
超快流量控制 200 毫秒
準(zhǔn)確度±1%SP
工作溫度 5~50°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器
EtherCAT通信
設(shè)備網(wǎng)絡(luò)™通信
超快流量控制
使用示例
快速蝕刻工藝
在半導(dǎo)體制造過程中，需要在小型化的同時提高吞吐量。 即使在控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器中，對縮短流量控制的啟動（啟動）時間的需求也在增加。 超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是一種非接觸式熱流量傳感器，不接觸流量傳感器和流量測量氣體，實(shí)現(xiàn)200ms的超高速響應(yīng)。 非接觸式可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體流量測量的高速流量控制。
lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000
規(guī)格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標(biāo)準(zhǔn) | 最高 F.S. | 密封 |
| 5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | 金 |
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