lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質(zhì)量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。
通過(guò)將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以在高溫下控制氣體。
塊體采用SUS-316L，金作為密封材料，應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體。
作為選項(xiàng)，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和專(zhuān)用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。
特點(diǎn)
最高工作溫度最高120°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
RS-485 通信
選擇
兼容液化氣
加熱塊
使用示例
液化氣、升華氣流量控制
CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產(chǎn)生的氣體較少，因此很難使用MFC控制流量，MFC使用壓差來(lái)流動(dòng)氣體。 因此，MFC的工作壓力是通過(guò)加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來(lái)確保的。 MC-3000L-TC 能夠進(jìn)行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。
lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC
規(guī)格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標(biāo)準(zhǔn) | 最高 F.S. | 密封 | |
| 低 | 80~100°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
| 高 | 100~120°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過(guò)選項(xiàng)進(jìn)行更改。
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