lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C
用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。
用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規(guī)的，可以通過(guò)EtherCAT通信進(jìn)行控制，EtherCAT通信用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的高速傳輸系統(tǒng)。
半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器作為標(biāo)準(zhǔn)安裝，并且可以作為液化氣支架等選項(xiàng)添加。
特點(diǎn)
準(zhǔn)確度±1%SP
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度保證傳感器
EtherCAT通信
選擇
微流 F.S.
兼容液化氣
寬
使用示例
EtherCAT通信設(shè)備的通信統(tǒng)一
越來(lái)越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通信（數(shù)字I / F），用于高速控制機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)。 EtherCAT通信有65，536個(gè)節(jié)點(diǎn)，MFC的所有測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通信統(tǒng)一。
lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C
規(guī)格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標(biāo)準(zhǔn) | 最高 F.S. | sdaM |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過(guò)選項(xiàng)進(jìn)行更改。
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