當前位置:上海晨華科技股份有限公司>>產業(yè)化熱工裝備>> CVD氣相沉積爐
用途:
CVD氣相沉積爐用于燒結碳碳及碳陶復合材料產品.
主要配置:
1.立式爐體,雙層爐體結構,水冷夾套設計。
2.爐膛內由發(fā)熱元件,保溫層,測溫熱電偶,監(jiān)測熱電偶組成
3.發(fā)熱元件沿爐膛內壁均勻布置,有利于加熱,溫度均勻性好
4.PLC加觸摸屏操作方式,有報警功能,自動化程序高,安全可靠
主要技術參數:
1.工作區(qū):?1500X2000mm
2.高溫度:1550℃
3.工作溫度:1400℃
3.極限真空度:20Pa
4.加熱方式電阻加熱
5.工作氣氛氬氣及反應氣體
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