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CVD氣相沉積爐

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更新時間:2023-02-28 10:48:03瀏覽次數:100次

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用途:CVD氣相沉積爐用于燒結碳碳及碳陶復合材料產品.主要配置:1.立式爐體,雙層爐體結構,水冷夾套設計

用途:

CVD氣相沉積爐用于燒結碳碳及碳陶復合材料產品.

主要配置:

1.立式爐體,雙層爐體結構,水冷夾套設計。

2.爐膛內由發(fā)熱元件,保溫層,測溫熱電偶,監(jiān)測熱電偶組成

3.發(fā)熱元件沿爐膛內壁均勻布置,有利于加熱,溫度均勻性好

4.PLC加觸摸屏操作方式,有報警功能,自動化程序高,安全可靠

主要技術參數:

1.工作區(qū):?1500X2000mm

2.高溫度:1550℃

3.工作溫度:1400

3.極限真空度:20Pa

4.加熱方式電阻加熱

5.工作氣氛氬氣及反應氣體


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