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當(dāng)前位置：上海晨華科技股份有限公司>>產(chǎn)業(yè)化熱工裝備>> 氮化硅陶瓷基板燒結(jié)爐
用途：主要于燒結(jié)氮化硅陶瓷基板
主要配置：
1.雙層水冷爐體設(shè)計(jì)，壓力容器鋼爐殼
2.等靜壓石墨棒作發(fā)熱體，電阻加熱式
3.充氣系統(tǒng)設(shè)有安全閥，壓力繼電器，可靠性強(qiáng)，安全性高。
4.電氣控制采用PLC加觸摸屏控制方式
5.爐后部配快冷風(fēng)機(jī)，可縮短冷卻時(shí)間
主要技術(shù)參數(shù)：
型號：ZT-450-22
1.高溫度：2200度
2.工作溫度：2000度
3.真空度：1Pa
4.氣壓：1MPa.
5.工作區(qū):600X600X1400mm
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