三甲基硅烷(3MS)
使用經(jīng)過內(nèi)壁鏡面拋光、鈍化處理的碳鋼瓶。容積有10L、47L二種規(guī)格，閥門為CGA660/CGA350/CGA634，兩種規(guī)格容器可分別充裝3KG和15KG產(chǎn)品，還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
技術(shù)指標(biāo)
| 材料級(jí)三甲基硅烷 | |
| 成分/雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標(biāo) |
| 三甲基硅烷 | ≥99.5 % |
| 不凝氣雜質(zhì)(N2, O2+Ar，CO2, CH4) | ≤1.0 % |
| 硅烷 | ≤0.5 % |
| 氯硅烷 | ≤0.5 % |
| 電子級(jí)三甲基硅烷 | |
| 成分/雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標(biāo) |
| ( CH3)3SiH | ≥99.99%(不含其他甲基硅烷) |
| N2 | ≤10 ppm/v |
| O2+Ar | ≤2ppm/v |
| CO2 | ≤5ppm/v |
| CH4 | ≤5ppm/v |
| SiH4 | ≤5ppm/v |
| Other Methylsilanes | ≤300 ppm/v |
| Chlorosilanes | ≤10 ppm/v |
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