高純甲基三氯硅烷(MTS)
采用316L不銹鋼制作,容積有45L、250L、900L三種規(guī)格,1/2"、1/4"VCR接口閥門兩種規(guī)格,容器可分別充裝45kg、250kg、1000kg產(chǎn)品; 還可根據(jù)用戶特殊要求提供不同包裝和借口,包含ISO-TANK。
技術指標
成分/雜質名稱 | 產(chǎn)品指標 |
純度 | ≥99.99%(基于金屬雜質) |
三甲基一氯硅烷 | <100ppm |
四氯化硅 | <100 ppm |
金屬雜質總量 | <10 ppm |
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