高純二氯二氫硅（DCS）
產(chǎn)品描述：
二氯二氫硅包裝采用316L不銹鋼制作，容積有10L、47L二種規(guī)格，分別充裝10KG，40KG產(chǎn)品；閥門為CGA678/CGA636規(guī)格，還可根據(jù)用戶特殊要求提供不同包裝和接口。
技術(shù)數(shù)據(jù)表：
| 氣體名稱 | 二氯二氫硅 (SiH2Cl2) |
| 成分或雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標(biāo) |
| 純度 | ≥99.9% |
| 電阻率 | ≥400 ohm.cm |
| 其他氯硅烷 | ≤1000 ppm/w |
| 碳（C） | ≤0.03 ppm/w |
| 施主雜質(zhì)（砷As，磷P） | ≤0.08 ppb/w |
| 硼（B） | ≤0.01 ppb/w |
| 鐵(Fe) | ＜2 ppb/w |
| 鎳（Ni） | ≤0.2 ppb/w |
| 鉻（Cr） | ≤2 ppb/w |
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