高純?nèi)葰涔瑁?span>TCS）
產(chǎn)品描述：
三氯氫硅包裝采用316L不銹鋼制作，容積有45L,250L,900L三種規(guī)格，閥門(mén)為1/2‘’、1/4‘’VCR接口閥門(mén)兩種規(guī)格，容器可分別充裝45KG,250KG,1000KG產(chǎn)品；還可根據(jù)用戶(hù)特殊要求提供不同包裝和接口，包括ISO-TANK.
技術(shù)數(shù)據(jù)表：
| 氣體名稱(chēng) | 三氯氫硅（SiHCl3） |
| 成分或雜質(zhì)名稱(chēng) | 產(chǎn)品指標(biāo) |
| 純度 | ≥99.99% |
| 電阻率 | ≥1000 ohm.cm |
| 其他氯硅烷 | ≤100 ppm/w |
| 碳（C） | ≤5 ppb/w |
| 施主雜質(zhì)（砷As，磷P） | ≤0.07 ppb/w |
| 硼（B） | ≤0.01 ppb/w |
| 鐵 (Fe) | ≤1 ppb/w |
| 鎳（Ni） | ≤0.1 ppb/w |
| 鉻（Cr） | ≤0.1 ppb/w |
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