高純四氯化硅 (TET)
四氯化硅不銹鋼瓶采用316L不銹鋼制作的高潔凈容器，容積有45L、250L、900L三種規(guī)格，閥門為1/2"、1/4"VCR接口閥門，三種規(guī)格容器可分別充裝45kg、300kg和1000kg產(chǎn)品，還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
產(chǎn)品指標：
| 氣體名稱 | SiCl4 |
| 成分或雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標 |
| 純度 | ≥99.9999% |
| 電阻率 | ≥500 ohm.cm |
| 其他氯硅烷 | <1ppm/w |
| 碳 | <0.2ppb/w |
| 施主雜質(zhì)（砷As、磷P） | ≤0.08ppb/w |
| 硼(B) | ≤0.1ppb/w |
| 鐵(Fe) | <2ppb/w |
| 鎳(Ni) | ≤2ppb/w |
| 鉻(Cr) | ≤1ppb/w |
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