甲基硅烷(MS)
使用經(jīng)過內(nèi)壁鏡面拋光、鈍化處理的碳鋼瓶。容積有10L、47L二種規(guī)格,閥門為CGA660/CGA350/CGA634,不同容積的容器均按充裝系數(shù)0.25kg/L包裝產(chǎn)品,還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
產(chǎn)品指標:
材料級甲基硅烷 | |
氣體名稱 | Methylsilane(CH,SiH,) |
成份/雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標 |
甲基硅烷 | ≥99.5 % |
不凝氣雜質(zhì)(N,,Oz+Ar,CO,CH) | ≤0.2% |
硅烷 | ≤0.2% |
氯硅烷 | ≤0.1% |
電子級甲基硅烷 | |
氣體名稱 | Methylsilane(CH3SiH3) |
成份/雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標 |
SiH3CH3 | >99.98%(不含其他甲基硅烷) |
N2 | ≤10ppm/v |
Ar+O2 | ≤2ppm/v |
CO2 | ≤10ppm/v |
CH4 | ≤50ppm/v |
SiH4 | ≤50ppm/v |
Other Methylsilanes | ≤50ppm/v |
Chlorosilanes | ≤50ppm/v |
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