甲基硅烷(MS)
使用經(jīng)過內(nèi)壁鏡面拋光、鈍化處理的碳鋼瓶。容積有10L、47L二種規(guī)格，閥門為CGA660/CGA350/CGA634，不同容積的容器均按充裝系數(shù)0.25kg/L包裝產(chǎn)品，還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
產(chǎn)品指標：
| 材料級甲基硅烷 | |
| 氣體名稱 | Methylsilane(CH,SiH,) |
| 成份/雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標 |
| 甲基硅烷 | ≥99.5 % |
| 不凝氣雜質(zhì)(N，，Oz+Ar，CO，CH) | ≤0.2% |
| 硅烷 | ≤0.2% |
| 氯硅烷 | ≤0.1% |
| 電子級甲基硅烷 | |
| 氣體名稱 | Methylsilane(CH3SiH3) |
| 成份/雜質(zhì)名稱 | 產(chǎn)品指標 |
| SiH3CH3 | >99.98%(不含其他甲基硅烷) |
| N2 | ≤10ppm/v |
| Ar+O2 | ≤2ppm/v |
| CO2 | ≤10ppm/v |
| CH4 | ≤50ppm/v |
| SiH4 | ≤50ppm/v |
| Other Methylsilanes | ≤50ppm/v |
| Chlorosilanes | ≤50ppm/v |
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