直接驅(qū)動，無槽，無刷伺服電機
零齒槽電機，出色的速度穩(wěn)定性
出色的誤差運動和擺動性能
直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
薄型平面設計
沒有機械接觸
Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計量，X射線衍射系統(tǒng)，光學檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設備制造的嚴格要求。
緊湊包裝
ABRS系列直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)平臺的設計已經(jīng)過優(yōu)化，可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個通孔，可用于產(chǎn)品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應用的要求。
機械設計
ABRS設計具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產(chǎn)生出色的軸向和徑向誤差運動，而且產(chǎn)生出色的傾斜誤差運動。所產(chǎn)生的面誤差運動明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺和主軸，極大地受益于需要出色平面性能的應用。
無刷直驅(qū)
為了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機。電機采用磁路設計，可產(chǎn)生高扭矩輸出，而產(chǎn)生的熱量最少。無槽設計本質(zhì)上是零齒槽和無轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應用。
準確定位
光學編碼器是ABRS的標準配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時，分辨率可達到<0.03弧秒。
定制設計
定制版本的ABRS可用于費率表和慣性制導試驗臺應用。
寬度：150 mm
桌面直徑：128.1 mm
高度：80 mm
孔徑：8 mm
總行程：360°連續(xù)
總線電壓：80 VDC
基本編碼器分辨率：3600行/轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速：max.300 rpm
精度：±3角秒
雙向重復性：<2弧秒
負荷
軸向：8 kg
徑向：4 kg
傾斜：3 N-m
軸向誤差運動（同步）：<175 nm
徑向誤差運動（同步）：<450 nm
傾斜誤差運動（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）
軸向誤差運動（異步）：<20 nm
徑向誤差運動（異步）：<20 nm
傾斜誤差運動（異步）：<0.4 µrad（<0.08弧秒）
工作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）
空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）
材料：鋁
表面：硬涂層（62洛氏硬度）
慣性卸載：3850 kg-mm2
總質(zhì)量：4.8公斤
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