產品介紹
精確的平行運動
Max.200µm的運動范圍
無機械間隙
容易與其他壓電系統(tǒng)結合
精密銷孔，可精確調節(jié)
高動態(tài)范圍
可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對準、半導體、微操作
平行四邊形構造的固態(tài)鉸鏈提供平行運動，而在x和y方向上沒有機械間隙。這些構造原理得到非常高的分辨率，遠遠超過了機械和機電定位系統(tǒng)的分辨率。壓電定位器PXY 200系列可以輕松安裝到其他定位系統(tǒng)，并可以配備克服磁滯效應的測量設備（應變儀）。動態(tài)操作是可能的，PXY 200壓電元件非常適合解決掃描問題。
產品參數
軸：X，Y
開環(huán)運動（±10％）/閉環(huán)運動（±0.2％）：200 /-µm
每軸電容（±20％）：5.2µF
分辨率（開/閉環(huán)）：0.4 /- nm
諧振頻率x / y（空載）：350/350 Hz
推/拉力
X軸：max. 130/13 N
Y軸：130/13 N
剛度x / y ：0.65 / 0.65 N /μm
電壓范圍：-20…130V
電纜長度：1 m
溫度范圍：-20°C…+ 80°C
材料：鋁/不銹鋼
尺寸（長x寬x高）：70x70x25 mm
中心孔徑（直徑）：28 mm
重量：350 g
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