垂直晶片轉移機實現(xiàn)Cassettes晶圓盒移動而不是晶片移動，以實現(xiàn)更安全、更清潔的晶圓傳輸。
自動批量垂直晶片轉移機AVT單按鈕操作使工具易于使用,是一種高可靠性、低維護的系統(tǒng)。為ISO 3級（FS209E 1級）設計；抗靜電結構。
晶片接觸材料：抗靜電聚丙烯和縮醛，這是高純度材料，具有良好的耐磨性、良好的熱性能和優(yōu)異的耐化學性。
自動批量垂直晶片轉移機AVT特點：
一次傳送25個晶片。
30秒的循環(huán)時間。
升降梳由防靜電縮醛材料制成。
固定梳由黑色縮醛制成。
自動批量垂直晶片轉移機AVT規(guī)格參數(shù)
| 適合晶圓尺寸 | 76, 100, 150, 200mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold separately |
| 吞吐量 | 60個晶圓盒/小時 |
| 重量 | 約20kg |
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