晶圓對準器是桌面自動晶片對準儀器,設計用于對齊晶片盒。在對準過程中，經處理的晶片表面不會接觸晶圓盒。存儲8個角度，一個可自由編程。集成檢查模式允許檢查晶圓邊緣?？捎糜?00、125、150和200mm晶片。
晶圓對準器特點
桌面系統
非常緊湊,占地面積：255 x 150mm
精確對準+/-1°
一個自由可編程角度0-360°
靜電安全
集成控制器
液晶顯示器
觸發(fā)RFID等的輸出
用于自動化的RS232接口
電源110-230 VAC/50-60 Hz
數據表和技術文檔
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