自動(dòng)晶圓傳送機(jī)堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)確保了高可靠性、低維護(hù),節(jié)省了寶貴的潔凈室空間。
自動(dòng)晶圓傳送機(jī)抗靜電結(jié)構(gòu)專(zhuān)為ISO 3級(jí)設(shè)計(jì)。
自動(dòng)晶圓傳送機(jī)特點(diǎn)
觸摸屏控制
FOUP給FOSB
映射功能檢查是否存在交叉槽、雙堆疊和晶片
PVDF涂層棒一次傳送25個(gè)晶片
自動(dòng)晶圓傳送機(jī)規(guī)格參數(shù)
| 適合晶圓尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 60晶圓盒/小時(shí) |
| 重量 | 約38kg |
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