能生產(chǎn)3nm!中科院成功研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術(shù):完全不同于ASML
中科院的固態(tài)DUV激光技術(shù)完全基于固態(tài)設(shè)計,由自制的Yb:YAG晶體放大器生成1030nm的激光,在通過兩條不同的光學(xué)路徑進行波長轉(zhuǎn)換。- 2025-03-27 08:51:19 17377
- 全固態(tài)DUV光源技術(shù)光刻機
能生產(chǎn)3nm!中科院成功研發(fā)全固態(tài)DUV光源技術(shù):完全不同于ASML
中科院的固態(tài)DUV激光技術(shù)完全基于固態(tài)設(shè)計,由自制的Yb:YAG晶體放大器生成1030nm的激光,在通過兩條不同的光學(xué)路徑進行波長轉(zhuǎn)換。Intel宣布世界最先進光刻機投產(chǎn)!晶圓生產(chǎn)效率/可靠性翻倍
Intel宣布,ASML首批兩臺高數(shù)值孔徑(High-NA EUV)極紫光刻機已經(jīng)在其工廠投入生產(chǎn)。據(jù)悉,Intel利用先進光刻機已在一季內(nèi)生產(chǎn)3萬片晶圓,這些晶圓可以產(chǎn)出數(shù)千顆計算芯片。
昵稱 驗證碼 請輸入正確驗證碼
所有評論僅代表網(wǎng)友意見,與本站立場無關(guān)