近日,中國科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國家研究中心研究團(tuán)隊(duì)在新一代無液氦低溫掃描探針顯微鏡研制方面取得成果,成功研制了一套無液氦亞3K低溫掃描探針顯微系統(tǒng)。研究成果以“無液氦亞3 K低溫掃描探針顯微鏡的研制”為題,于2023年9月6日發(fā)表在《科學(xué)儀器評(píng)論》上。
在凝聚態(tài)物理研究中,低溫環(huán)境扮演著非常重要的角色,是對(duì)多體系統(tǒng)中強(qiáng)相互作用的復(fù)雜行為開展深入研究的必要條件。目前低溫環(huán)境重要依賴于液氦提供。然而液氦是一種非常稀缺且昂貴的資源,隨著液氦資源日趨緊張,發(fā)展無液氦制冷技術(shù)勢在必行。磁共振成像、超導(dǎo)磁體等儀器設(shè)備已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了無液氦化,而在掃描探針顯微系統(tǒng)(SPM)上,一方面單級(jí)制冷的基礎(chǔ)溫度僅能達(dá)約5 K水平,另一方面制冷劑需要安裝在掃描單元附近,其震動(dòng)對(duì)成像有顯著影響。因此低溫SPM的無液氦化仍然面臨著較大困難。
中國科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國家研究中心郇慶研究團(tuán)隊(duì)(N13組)和高鴻鈞院士研究團(tuán)隊(duì)(N04組)長期合作,在掃描探針顯微鏡技術(shù)上取得過多項(xiàng)重大突破。為解決無液氦低溫SPM技術(shù),兩個(gè)研究團(tuán)隊(duì)聯(lián)合中科艾科米(北京)科技有限公司、北京飛斯科科技有限公司、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所的研發(fā)人員經(jīng)過幾年攻關(guān),終于成功研制出了無液氦亞3K低溫SPM系統(tǒng)。
據(jù)介紹,該系統(tǒng)將低頻大幅震動(dòng)的制冷機(jī)安裝在遠(yuǎn)端的獨(dú)立制冷腔體,解決了目前無液氦低溫掃描探針顯微鏡存在的兩方面問題。在溫度上,實(shí)現(xiàn)了~2.8K的基礎(chǔ)溫度、接近±0.1mK的溫度穩(wěn)定性、小于10pm/h的溫度漂移,保證了穩(wěn)定的低溫環(huán)境。在震動(dòng)上,震動(dòng)水平約1pm,對(duì)成像的影響大幅減小。經(jīng)過驗(yàn)證,該系統(tǒng)能夠從低溫到室溫寬溫區(qū)內(nèi)連續(xù)變溫成像。
與現(xiàn)有的無液氦方案相比,該系統(tǒng)僅需少量氦氣(~10 L)即可實(shí)現(xiàn)3K以下基礎(chǔ)溫度,并可長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行,震動(dòng)水平與濕式系統(tǒng)相當(dāng);利用此遠(yuǎn)端液化 4He方案預(yù)冷3He方便實(shí)現(xiàn)亞開爾文范圍拓展;與強(qiáng)磁場、光學(xué)通路等其他物理環(huán)境的良好兼容性,顯著降低來自制冷機(jī)的電磁干擾;便捷地將現(xiàn)有濕式SPM系統(tǒng)改造為無液氦SPM,并可應(yīng)用在其他需求低溫且對(duì)振動(dòng)敏感的領(lǐng)域。
世界范圍內(nèi)的液氦短缺對(duì)部分依賴低溫環(huán)境運(yùn)行的儀器設(shè)備帶來了較大影響,這項(xiàng)研究成果采用創(chuàng)新的制冷技術(shù),不僅徹底解決了現(xiàn)有無液氦SPM方案近端安裝制冷機(jī)的不足,還可應(yīng)用于其它需求低溫且振動(dòng)敏感的領(lǐng)域,如精密光譜測量、低維材料的微弱電學(xué)信息表征等,將助力我國減少對(duì)液氦資源的依賴。
資料來源:中國科學(xué)院物理研究所
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