2024年10月23日至25日，第十四屆中國國際納米技術(shù)博覽會(huì)在蘇州舉辦。此次盛會(huì)重點(diǎn)聚焦納米新材料、微納制造、第三代半導(dǎo)體、納米壓印、納米大健康、能源與清潔技術(shù)、納米生物技術(shù)等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，再次吸引了全球納米技術(shù)領(lǐng)域的頂尖專家、學(xué)者和企業(yè)代表齊聚一堂，共同探討納米科技的最新進(jìn)展和未來發(fā)展趨勢(shì)。
安徽澤攸科技有限公司成立于2016年，擁有安徽銅陵、北京、上海和東莞四家分公司，是一家具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的精密儀器高科技公司。公司專注于掃描電鏡、原位測(cè)量系統(tǒng)、
臺(tái)階儀、探針臺(tái)、電子束光刻機(jī)等精密設(shè)備的研究，填補(bǔ)了國家在高端精密儀器領(lǐng)域的諸多空白。
安徽澤攸科技有限公司(簡稱“澤攸科技”)作為參展企業(yè)之一，攜其自主研發(fā)的ZEM系列臺(tái)式掃描電子顯微鏡、JS100B臺(tái)階儀和干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)亮相展會(huì)。
ZEM系列臺(tái)式掃描電子顯微鏡
ZEM系列臺(tái)式掃描電子顯微鏡
澤攸科技專注于桌面級(jí)掃描電鏡研發(fā)制造，ZEM 系列掃描電鏡具有體積小巧、移動(dòng)便捷、維護(hù)方便、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。澤攸ZEM察列掃描電鏡采用全中文交互系統(tǒng)，界面簡潔清晰，功能豐富全面，操作方便怏捷。澤攸 ZEM 系列掃描電鏡內(nèi)置光學(xué)攝像頭，進(jìn)樣時(shí)拍攝導(dǎo)航圖片，鼠標(biāo)點(diǎn)擊導(dǎo)航圖片任意位置，樣品臺(tái)即會(huì)實(shí)時(shí)連動(dòng)導(dǎo)航，快速找到樣品對(duì)應(yīng)的區(qū)域。
澤攸ZEM系列掃描電鏡采用預(yù)對(duì)中鎢燈絲，自帶韋氏帽，燈絲已做好預(yù)對(duì)中，并已發(fā)射驗(yàn)證，降低燈絲更換難度。澤攸ZEM系列掃描電鏡提供兩軸、三軸、五軸樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)多個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)和組合，靈活性高，為測(cè)試樣品提供更為精準(zhǔn)的位置坐標(biāo)，方便精確的測(cè)定樣品。深攸ZEM系列掃描電讓可造配低真空模式，可在1-60Pa自由切換。對(duì)于不導(dǎo)電樣品可不噴金快速檢測(cè)，避免噴金對(duì)部分樣品表面形貌，能譜(EDS)測(cè)試的影響與干擾。
JS100B臺(tái)階儀
JS100B臺(tái)階儀
國產(chǎn)半自動(dòng)臺(tái)階儀JS100B/200B/300B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定、可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS100B提供兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。
JS100B臺(tái)階儀量測(cè)精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計(jì)、售后便捷、極高性價(jià)比，應(yīng)用于刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量；薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量；各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量；3D掃描成像。
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)真空度優(yōu)于6×10-4 Pa，降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。探針臺(tái)留有2個(gè)用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)、標(biāo)配6個(gè)探針臂，調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm，精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜。
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)的顯微鏡模塊配備連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率為0.5X~3. 75X(使用0. 75X附加物鏡時(shí))，視頻放大倍率約700倍，可選2X附加物鏡，分辨率優(yōu)于2um。配備全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；變溫樣品臺(tái)直徑標(biāo)配50mm，可選配150mm。變溫范圍為6K~400K，控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K；可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；系統(tǒng)直流漏電低于1pA；產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
此次展會(huì)不僅展示了澤攸科技在納米技術(shù)領(lǐng)域的最新成果，也為公司與行業(yè)內(nèi)其他企業(yè)和專家的合作提供了良好的契機(jī)。在展會(huì)期間，澤攸科技的展位吸引了眾多行業(yè)專家和企業(yè)的參觀和交流。澤攸科技將繼續(xù)致力于高端科學(xué)儀器裝備的研發(fā)和生產(chǎn)，為科研和生產(chǎn)提供更加先進(jìn)的工具和設(shè)備，為技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)更多力量。
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