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芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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全自動(dòng)顯影機(jī)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：顯影機(jī)
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時(shí)間：2023-09-23 15:21:15
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  • 電    話：0592-7820117
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

2C全自動(dòng)顯影機(jī) XMCA-800A

詳情介紹
  • 基片尺寸
    ψ50mm～ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4個(gè)晶舟
  • Coater Unit 涂膠單元
    1、PR類型：正膠/ 負(fù)膠 ；2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個(gè)； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 機(jī)械手臂
    3軸; X1, X2, X3
  • Hot Plate熱盤單元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盤單元
    溫度18-28℃
  • 顯影機(jī)基片尺寸
    ψ50mm～ψ300mm
  • Developer 顯影單元
    1、可應(yīng)用噴頭 Spray, Stream, E2 , H ；2、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 5,000rpm
  • 顯影機(jī)臺(tái)尺寸
    D(1200+1820)XW1700XH2300(mm)
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