WaveMaster波前測量儀是應(yīng)用于球面及非球面光學(xué)系統(tǒng)波前實時測量和分析的儀器，具有高空間分辨率和高精度的特征，整合了目前波前傳感技術(shù)。

應(yīng)用范圍：

各種球面及非球面鏡片光學(xué)波前面和鏡片或鏡頭的表面面型的檢測

實驗室內(nèi)大口徑精密鏡頭或鏡片的波前檢測

產(chǎn)線大批量鏡頭波前和表面面型的檢測

晶圓級鏡頭的波前檢測

技術(shù)指標：

微透鏡陣列138×138

波前測量精度優(yōu)于 ＜λ/20(RMS)

波前測量動態(tài)范圍：2000λ

表面面型測量精度 ＜0.050μm（RMS）

表面面型動態(tài)范圍 ＞200μm

非球面度 ＜7度

測量波長（可定制）

數(shù)值孔徑（可定制）

被測樣品直徑（可定制）

被測樣品焦距（可定制）