高純水設(shè)備的技術(shù)發(fā)展主要經(jīng)歷：
1、陰、陽離子交換器＋混合離子交換器；
2、反滲透＋混合離子交換器；
3、反滲透＋EDI電去離子裝置等階段。“預(yù)處理+反滲透+EDI電去離子”整套除鹽系統(tǒng)，有著其它處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，正被廣泛應(yīng)用于純水、高純水設(shè)備中。
本公司設(shè)計(jì)的反滲透RO+EDI高純水設(shè)備系統(tǒng)將成熟的RO工藝和EDI工藝結(jié)合了起來，反滲透系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的陽陰離子交換工藝，電除鹽裝置取代了傳統(tǒng)的混合離子交換器，是無需化學(xué)藥劑再生的純水處理工藝。系統(tǒng)的回收率取決于進(jìn)水的水質(zhì)情況，EDI的回收率由濃水排放量進(jìn)行控制。RO反滲透+EDI高純水設(shè)備工藝流程：

RO+EDI是目前較為的高純水制備工藝系統(tǒng)之一。反滲透RO+EDI高純水設(shè)備出水水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)、電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。