旋轉(zhuǎn)涂層機/勻膠機/勻膠儀旋涂儀/甩膠機/旋涂機 型號:ZRX-26227
產(chǎn)品簡介：ZRX-26227勻膠儀旋涂儀
主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆工藝。
ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可在科研，教育，生產(chǎn)中應(yīng)用。
ZRX-26227勻膠機
ZRX-26227勻膠機： 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀26程序控制器：
可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程；
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；
加速度（及負加速度）。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序，方便快速調(diào)試并存儲程序。
設(shè)置程序：6鍵操作，人機交互式對話，提示操作。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 可連接滴膠機，自動控制在必要的瞬間滴膠，自動控制重復(fù)定量滴膠。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 工作腔可氮氣保護。
對所有的環(huán)境變量（溫度，濕度，潔凈度）有效控制，
*ZRX-26227高性能勻膠機旋涂儀 真空吸片，爪卡機構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 中心結(jié)構(gòu)定位：圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位
一片真空吸盤即可滿足（ZRX-26227適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 卡盤，吸盤品種豐富，適應(yīng)各種需要。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 真空吸片系統(tǒng)更安全：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度，必須在安全的真空度下，
電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。運行中失去真空，系統(tǒng)保護性停機。
*ZRX-26227勻膠機旋涂儀 伺服電機，轉(zhuǎn)速精度更高：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 % 高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：200W
轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時間：1---9999秒。
尺寸： 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高
中心定位
利用中心定位板，將基片在機器轉(zhuǎn)軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4，6，8，10英寸基片定位。完成勻膠。
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