CCD系列電動超高真空插板閥
CCD系列電動超高真空插板閥是通過電動裝置驅動閥桿帶動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。
適用的工作介質為為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置。
電動超高真空插板閥主要零件材料：
閥體、閥板：不銹鋼。
密封件：氟橡膠、波紋管（軸封）、丁腈橡膠。
電動超高真空插板閥主要技術性能：
| 適用范圍（Pa） | 105～1.3×10-7Pa |
| 閥門漏率（Pa.L/S） | ≤1.3×10-7Pa.L/S.（DN≤200） ≤6.7×10-7Pa.L/S.（DN≥250） |
| 適用溫度（℃） | -30～+150℃ |
| 閥門開啟時閥板兩側的壓差Pa | ≤2.7×103Pa. |
| 電源V/Hz | 220V/50Hz |
| 控制電路 | 標準出廠：AC220V/50Hz開關型 特殊：AC380V；DC24V開關型 4～20mA DC調節(jié)型 |
| 信號反饋 | 標準出廠：帶無源觸點型 特殊：4～20mA DC調節(jié)型 |
電動超高真空插板閥外形及連接尺寸：
| 型號 | DN | A | H | D | Do | D1 | D2 | D3 | L | L1 | G | E | n-d | 法蘭標準 |
| CCD-50 | 50 | 60 | 92 | 89 | 72.4 | 61.6 | 55.6 | | 515 | 153 | 220 | 124 | 8-M8 | GB6071 |
| CCD-63 | 63 | 65 | 105 | 114 | 92.1 | 82.6 | 76.6 | | 566 | 180 | 220 | 124 | 8-M8 | |
| CCD-80 | 80 | 65 | 130 | 130 | 110 | 99 | 93 | | 603 | 200 | 220 | 124 | 16-M8 | |
| CCD-100 | 100 | 70 | 152 | 152 | 130.2 | 120.7 | 114.7 | | 653 | 267 | 220 | 124 | 16-M8 | |
| CCD-150 | 150 | 70 | 202 | 202 | 181 | 171.5 | 165.5 | | 771 | 350 | 270 | 150 | 20-M8 | |
| CCD-200 | 200 | 80 | 251 | 253 | 231.8 | 222.3 | 216.6 | | 889 | 424 | 270 | 150 | 24-M8 | |
| CCD-250 | 250 | 85 | 300 | 314 | 288 | 308 | 275 | 271 | 1127 | 574 | 350 | 200 | 24-M10 | JB5278 |
| CCD-300 | 300 | 85 | 352 | 365 | 338 | 353 | 323 | 318 | 1197 | 613 | 400 | 200 | 32-M10 | |
| CCD-320 | 320 | 85 | 372 | 385 | 357 | 379 | 344 | 340 | 1220 | 613 | 440 | 200 | 36-M10 | JB5278 |
| CCD-400 | 400 | 110 | 456 | 497 | 454 | 480 | 440 | 436 | 1480 | 810 | 536 | 200 | 36-M12 | |
| CCD-500 | 500 | 135 | 595 | 590 | 555 | 580 | 540 | 536 | 1580 | 870 | 640 | 220 | 40-M12 | |
| CCD-630 | 630 | 135 | 690 | 700 | 658 | 680 | 639 | 635 | 1730 | 960 | 780 | 220 | 40-M16 | |
| CCD-800 | 800 | 150 | 880 | 890 | 855 | 880 | 835 | 831 | 1960 | 1100 | 950 | 220 | 60-M16 |
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