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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型"，探頭中沒有內(nèi)置電路。因此，穩(wěn)定性大大提高。此外，由于沒有電路部件，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu)。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃。
您可以看到已經(jīng)進行了12小時的長時間穩(wěn)定測量。

[圖] ST-3541 + ST-0403-100穩(wěn)定性數(shù)據(jù)

z大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅(qū)動的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進信號，也可以很好地檢查響應(yīng)。

通過使用不需要線性化器的測量方法，可以實現(xiàn)出色的線性度。

較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內(nèi)置電路，因此尺寸已大大減小。
這大大擴展了結(jié)合到測量系統(tǒng)中的自由度。
使用的連接電纜，可以
在通道之間進行同步操作。即使使用多臺設(shè)備，也可以通過連接通道進行同步操作。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結(jié)果。
您可以減少系統(tǒng)構(gòu)建的成本。
當使用多個通道時，只有通過按需供電才可以擴展，因此可以降低系統(tǒng)構(gòu)建成本。