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日本特許機器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

包括半導(dǎo)體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領(lǐng)域的制造、檢測和測量，正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌，準(zhǔn)確捕捉這些時代的需求，并為超微振動提供隔離空間。
我們準(zhǔn)備了支持更大直徑的半導(dǎo)體和液晶基板、由于更大的底座而導(dǎo)致更大的檢查設(shè)備和更重的產(chǎn)品陣容。
該系統(tǒng)可以通過與制造檢測線和眾多選項相匹配的簡單設(shè)計進(jìn)行精美配置。

EHS/DHS規(guī)范

針對超精密檢查/測量設(shè)備的高性能防振臺?

EHS-68（帶下擱板）

模型	EHS-68	EHS-78	EHS-87	EHS-107
隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm)	600 x 800 x 750	700 x 800 x 750	800 x 700 x 750	1,000 x 700 x 750
產(chǎn)品重量（公斤）	170	190	190	220
允許安裝重量（kg）	120
隔振方式	空氣彈簧和擺球支撐系統(tǒng)（PAT .P / USP）
固有頻率 (Hz)	垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
調(diào)平	機械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa
浮動部分	SUS304 拋光處理
選項	工作罩、抗震固定支架、下擱板
其他	可用于無塵室（帶集中排氣機構(gòu)和防靜電接地功能）符合RoHS指令

臺式隔振臺 DHS

DHS 系列是在 EHS 系列上帶有工作罩的型號。您可以工作而不必?fù)?dān)心觸摸浮動部分。?

DHS-68（帶下擱板）

模型	DHS-68	DHS-78	DHS-87	DHS-107
隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm)	650 x 850 x 750	750 x 850 x 750	850 x 750 x 750	1,050 x 750 x 750
產(chǎn)品重量（公斤）	175	195	195	225
允許安裝重量（kg）	120
隔振方式	空氣彈簧和擺球支撐系統(tǒng)（PAT .P / USP）
固有頻率 (Hz)	垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
調(diào)平	機械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa
浮動部分	SUS304 拋光處理
選項	抗震固定支架，下擱板
其他	可用于無塵室（帶集中排氣機構(gòu)和防靜電接地功能）符合RoHS指令

日本特許機器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

DAS/SRD/SVD規(guī)格

臺式隔振臺DAS

兼容光學(xué)顯微鏡/粗糙度儀等大負(fù)載?

DAS-68（帶下層架）

模型	DAS-68	DAS-78	DAS-87	DAS-107
隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm)	650 x 850 x 750	750 x 850 x 750	850 x 750 x 750	1,050 x 750 x 750
產(chǎn)品重量（公斤）	180	200	200	230
允許安裝重量（kg）	200
隔振方式	空氣彈簧
固有頻率 (Hz)	縱橫2.0-3.0
調(diào)平	機械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa
浮動部分	SUS304 拋光處理
選項	抗震固定支架，下擱板
其他	可用于無塵室（帶集中排氣機構(gòu)和防靜電接地功能）符合RoHS指令

臺式隔振臺 SRD/SVD

配備測量顯微鏡/粗糙度儀等。?

SVDA (wing, Saidodesu
click (ED), monitor stand, mouse
scan / with keyboard stage)

模型	SRDA	SVDA	SRDC	直流電源	SRDR
隔振臺外形尺寸 (W x D x Hmm)	590 x 720 x 715	770 x 720 x 715	590 x 720 x 715	770 x 720 x 715	590 x 720 x 715
產(chǎn)品重量（公斤）	70	105	70	105	70
允許安裝重量（kg）	120	200	120	200	45
隔振方式	空氣彈簧				特制橡膠彈簧墊
固有頻率 (Hz)	縱橫2.0-3.0				垂直和水平 8.0 到 12.0
調(diào)平	機械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa		手泵補水手動調(diào)節(jié)		特制橡膠彈簧墊
浮動部分	SPCC（三聚氰胺樹脂涂層）
選項	側(cè)翼、側(cè)桌 (ED) ED、顯示器支架、鼠標(biāo)/鍵盤支架