日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。
高速計(jì)算由我們獨(dú)chuang的主動(dòng)隔振算法執(zhí)行，而振動(dòng)立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。
我們地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器，并通過(guò)前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。
在保持高性能且高精度的隔振性能而沒(méi)有共振現(xiàn)象的同時(shí)，還可以在短時(shí)間內(nèi)同時(shí)衰減由安裝臺(tái)的激振力施加的振動(dòng)。
配備舞臺(tái)前饋功能和波形顯示軟件作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
特點(diǎn)
- 振動(dòng)傳遞特性無(wú)共振。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
- 具有6個(gè)自由度的高精度位置控制始終可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
- 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥，以應(yīng)對(duì)較大的移動(dòng)負(fù)載。
- 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
- 標(biāo)配臺(tái)前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。
用途
- 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作對(duì)付需要精細(xì)處理的晶片上的振動(dòng)的對(duì)策，并且被用作對(duì)付晶片移動(dòng)臺(tái)上的振動(dòng)的對(duì)策。
- 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在龍門(mén)架或工作臺(tái)顯著移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng)，并立即對(duì)其進(jìn)行檢查或糾正，這有助于縮短節(jié)拍時(shí)間。
- 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺(tái)上的振動(dòng)以進(jìn)行精密加工，同時(shí)支持大載荷的運(yùn)動(dòng)。
日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
| 模型 | 可安裝質(zhì)量（1個(gè)單位） | 尺寸（1個(gè)單位） |
|---|---|---|
| VAAV-550A | 270-900公斤 | 215（寬）x 160（深）x 170（高）毫米 |
| VAAV-1000A | 500-1700公斤 | 225（寬）x 210（深）x 170（高）毫米 |
| VAAV-2200A | 1100-3700公斤 | 280（寬）x 240（深）x 208（高）mm |
| VAAV-4000A | 2100-7000公斤 | 330（W）x 270（D）x 208（H）毫米 |
| VAAV-10000A | 5000-17000公斤 | 465（寬）x 400（深）x 240（高）mm |
| VAAV-20000A | 11400-38000公斤 | 600（W）x 600（D）x 284（H）毫米 |
| VAAV-30000A | 15000-50000公斤 | 700（W）x 700（D）x 182（H）毫米 |
| HA-450水平執(zhí)行器 | 480（寬）x 365（深）x 405（高）毫米 | |
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