日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。 光學(xué)設(shè)計可實現(xiàn) 7，000 mW/cm2 或更高的高輸出。 它是加工厚膜抗蝕劑的理想選擇，這過去需要大量的加工時間。 此外，曝光處理時間可以大大減少，這極大地促進(jìn)了加工晶圓數(shù)量的增加。
日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S
規(guī)范
| 項目 | 物質(zhì) |
|---|---|
| 工作環(huán)境溫度 | 5~40°C（無冷凝。 ） |
| 電源電壓 | 單相 100~240V |
| 工頻 | 50/60赫茲 |
| 發(fā)射峰值波長 | 365±5納米 |
| 光輸出穩(wěn)定性 | ±5%以內(nèi) |
| 初始紫外線強度 | 2000mW/c㎡以上（AT365nm，距掩模0.5mm） |
| 強度分布的均勻性 | 10%以下（4×5mm面積） |
| 紫外光源 | 紫外發(fā)光二極管 |
| 紫外光源壽命 | 20000 小時（估計使用壽命，最大驅(qū)動電流） *初始階段UV強度為50%或更高的照明積分時間 |
| 照射開/關(guān)功能 | 紫外線 LED 開/關(guān)控制 （通過遠(yuǎn)程和手動控制打開/關(guān)閉） |
| 光強調(diào)節(jié)功能 | UV-LED電流調(diào)節(jié) 光強調(diào)節(jié)范圍 20~100% |
| 外飾材料 | 不銹的 |
| 外部尺寸 | 150（寬）×200（深）×192（高）毫米 |
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