日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安裝在新設(shè)備中，也可以用目前使用的紫外燈光源代替。
UV-LED的安裝通過(guò)降低功耗，減少環(huán)境影響，延長(zhǎng)光源壽命以及消除對(duì)任何機(jī)械消耗件的需求，極大地降低了客戶的運(yùn)行成本。
日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S
規(guī)范
| 項(xiàng)目 | 物質(zhì) |
|---|---|
| 工作環(huán)境溫度 | 5~40°C（無(wú)冷凝。 ） |
| 電源電壓 | 單相 100~240V |
| 工頻 | 50/60赫茲 |
| 發(fā)射峰值波長(zhǎng) | 365±5納米 |
| 光輸出穩(wěn)定性 | ±5%以內(nèi) |
| 初始紫外線強(qiáng)度 | 2000mW/cm2以上（AT365nm，距掩模0.5mm） |
| 強(qiáng)度分布的均勻性 | 10%以下（4×5mm面積） |
| 紫外光源 | 紫外發(fā)光二極管 |
| 紫外光源壽命 | 20000，50 小時(shí)（估計(jì)使用壽命，最大驅(qū)動(dòng)電流）* 紫外線強(qiáng)度為初始強(qiáng)度的 <>% 或更多時(shí)的照明積分時(shí)間 |
| 照射開/關(guān)功能 | 紫外線 LED 開/關(guān)控制 （通過(guò)遠(yuǎn)程和手動(dòng)控制打開/關(guān)閉） |
| 光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能 | UV-LED電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)調(diào)節(jié)范圍 20~100% |
| 外飾材料 | 不銹的 |
| 外部尺寸 | 150（寬）×200（深）×192（高）毫米 |
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