日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列
蝶閥壽命長(zhǎng)，價(jià)格低，性能高，并且可以進(jìn)行各種打開(kāi)和關(guān)閉操作。
壽命長(zhǎng)一百萬(wàn)次
價(jià)格低廉自動(dòng)壓力控制可以以較低的價(jià)格進(jìn)行。
高性能高性能伺服電機(jī)，伺服放大器，采用新的驅(qū)動(dòng)機(jī)制
可以實(shí)現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級(jí)位置控制和自動(dòng)壓力控制。
還可以通過(guò)閥O形圈來(lái)支持?jǐn)Q緊余量O規(guī)格，從而實(shí)現(xiàn)小的電導(dǎo)。可提供小直徑為20A NW25的尺寸。（20A NW25尺寸也可提供一個(gè)可以*閉合的O形圈。）
特征
低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是專yong于電導(dǎo)控制的電動(dòng)蝶閥，它沒(méi)有閥體O形圈。
三菱電機(jī)制造的多功能伺服電機(jī)用作閥體的驅(qū)動(dòng)源，并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置，例如*關(guān)閉或*打開(kāi)。
可以分多個(gè)階段改變閥門的開(kāi)口面積，并且可以用于多種應(yīng)用，例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力，改變閥門前后的壓力以及改變排氣電導(dǎo)。
可以使用計(jì)算機(jī)軟件或伺服放大器本身預(yù)先設(shè)置中間停止位置，多可以存儲(chǔ)13個(gè)位置。
通過(guò)從主機(jī)系統(tǒng)（例如PLC）發(fā)送信號(hào)，它將以良好的可重復(fù)性停在設(shè)定位置。
通過(guò)將可選的雙重自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結(jié)合，可以進(jìn)行包括自動(dòng)壓力控制在內(nèi)的各種控制。
日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列
MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格
| 法蘭型 | JIS / ISO / CF / NW |
|---|---|
| 泄漏量 | 1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下 |
| 使用面積 | 10 5 至10 -6 Pa |
| 盤式密封 | 沒(méi)有任何 |
| 軸封 | 氟橡膠O型圈2個(gè)步驟 |
| 口徑 | 20A-100A |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 主電源AC200V（額定電流1.5A） 控制電源AC200V（額定電流0.2A） 接口電源DC24V（500mA） |
| 控制方式 | 交流伺服方式 |
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
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