日本fuji電動蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列
蝶閥壽命長，價格低，性能高，并且可以進行各種打開和關(guān)閉操作。
壽命長一百萬次
價格低廉自動壓力控制可以以較低的價格進行。
高性能高性能伺服電機，伺服放大器，采用新的驅(qū)動機制
可以實現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格（*注1），多級位置控制和自動壓力控制。
還可以通過閥O形圈來支持?jǐn)Q緊余量O規(guī)格，從而實現(xiàn)小的電導(dǎo)。可提供小直徑為20A NW25的尺寸。（20A NW25尺寸也可提供一個可以*閉合的O形圈。）
特征
低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是專yong于電導(dǎo)控制的電動蝶閥，它沒有閥體O形圈。
三菱電機制造的多功能伺服電機用作閥體的驅(qū)動源，并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置，例如*關(guān)閉或*打開。
可以分多個階段改變閥門的開口面積，并且可以用于多種應(yīng)用，例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力，改變閥門前后的壓力以及改變排氣電導(dǎo)。
可以使用計算機軟件或伺服放大器本身預(yù)先設(shè)置中間停止位置，多可以存儲13個位置。
通過從主機系統(tǒng)（例如PLC）發(fā)送信號，它將以良好的可重復(fù)性停在設(shè)定位置。
通過將可選的雙重自動壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結(jié)合，可以進行包括自動壓力控制在內(nèi)的各種控制。
日本fuji電動蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列
MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格
| 法蘭型 | JIS / ISO / CF / NW |
|---|---|
| 泄漏量 | 1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下 |
| 使用面積 | 10 5 至10 -6 Pa |
| 盤式密封 | 沒有任何 |
| 軸封 | 氟橡膠O型圈2個步驟 |
| 口徑 | 20A-100A |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 主電源AC200V（額定電流1.5A） 控制電源AC200V（額定電流0.2A） 接口電源DC24V（500mA） |
| 控制方式 | 交流伺服方式 |
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
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