sakaguchi-dennetsu微型 ALN 熱板MTP-500
sakaguchi-dennetsu微型 ALN 熱板MTP-500
板材采用導熱性高、可靠性高的氮化鋁。
由于溫度傳感器內(nèi)置于加熱器中，因此可以進行精確的溫度控制。
特征
溫度分布
由于板面均勻結(jié)合了小面積、大容量的發(fā)熱體，溫度分布良好。
它可以在 400°C 或更低的正常溫度下使用（最大.溫度控制
加熱器內(nèi)置溫度傳感器，可實現(xiàn)精確的溫度控制。導熱
板采用高導熱、高可靠性的氮化鋁。
標準規(guī)格
| 類型名稱 | MTP-500 |
|---|---|
| 產(chǎn)品代碼 | MTP500 |
| 加熱器等級 | 100V *330W±25%（瓦特密度：13.2W/cm 2） |
| 內(nèi)置熱電偶 | K 型熱電偶（內(nèi)置于加熱器中） |
| 工作溫度 | 氣氛：正常使用 400°C 500°C Max 真空中：正常使用 400°C 500°C Max（取決于真空壓力條件） |
| 板塊面積 | 50×50mm |
*容量為室溫下的容量。請注意，它會隨著溫度升高而降低。
用途
半導體ウェーハ製造加熱用、液晶ディスプレイ基板加熱用
CVD、スパッタリング、プラズマエッチングの熱処理用
プラスチック、ゴム等の予熱?成型ホットプレス金型
各種化學機器、試験裝置の加熱基盤
電子材料、新素材の開発試験用
製作仕様 （全品受注生産）
| 溫度範囲 | ～900℃ |
|---|---|
| 熱板材質(zhì) | アルミ、SUS304、SUS316L、ハステロイC、インコネル600、石英 |
| 表面処理 | アルマイト、タフラム、ニッケル、クロム等処理 |
| 使用雰囲気 | 大気中、真空中、不活性ガス及び各種処理ガス中 |
| 溫度分布濃度 | 仕様要求溫度に応じて有効ゾーン內(nèi)設(shè)定溫度の±1%（℃）可能 |
| 溫度センサー | 主にシース熱電対を熱板內(nèi)に設(shè)置使用 |
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