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XPS-7半導體材料氣體檢測器
型號 XPS-7 檢測原理 定電位電解式 檢測氣體對象 半導體材料氣體 指示范圍 根據(jù)規(guī)格 分辨率 實現(xiàn)滿量程的百分之一 指示精度 FS±10%以內 報警模式 2段報警方式 報警方式 蜂鳴器（間歇音）、報警燈閃爍 應答時間 60秒以內（60%應答） 電源 5號堿性干電池4節(jié)或AC變壓器 電池使用時間 連續(xù)12小時以上 外型尺寸 W762×H150×D128（除去突起物） 檢測方式 泵吸式 使用溫度范圍 0℃～40℃ 重量 約1.3kg 附件 肩背皮帶、5號堿性干電池4節(jié)、過濾紙兩張 選購件 AC變壓器、傳感器通電臺、數(shù)據(jù)收集配套元件
檢測氣體一覽表：
| 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S |
| XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
| XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
| XPS-7DC | SiHCL3 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 1ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7BF | BF3 | 1PPM | XPS-7NO | NO | 100ppm |
| XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm | XPS-7 | 氯甲烷 | 100ppm |
