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VPO-300快速退火爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)qirui

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

更新時(shí)間：2022-05-11 20:30:02瀏覽次數(shù)：50次

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VPO-300快速退火爐
快速退火爐（RTP/RTA）是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

VPO-300快速退火爐

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

儀器特點(diǎn)：
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；
  -  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
  -  加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；

儀器特點(diǎn)：
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；
  -  可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
  -  加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；

 

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