掃描雙軸（傾斜）MEMS反射鏡（或“微反射鏡”）是一種光束控制（或2D光學掃描）技術，在許多行業(yè)中使用。與競爭產(chǎn)品相比，Mirrorcle Technologies股份有限公司tip-timeMEMS反射鏡有幾個主要優(yōu)勢。基于ARI-MEMS制造技術的無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設備起初是通過位于加利福尼亞州伯克利的亞得里亞海研究所（“ARI”）基于ARI-MEM制造技術的研究項目開發(fā)的，無萬向節(jié)雙軸掃描微鏡設備在超低功率環(huán)境中運行，并在兩軸上提供非?？焖俚墓馐鴴呙?。該設備使激光束在兩個軸上高速偏轉至高達32°的光學掃描角。與現(xiàn)有的大型電流計光學掃描儀相比，我們的設備所需的驅動功率要低幾個數(shù)量級。我們的靜電執(zhí)行器的連續(xù)全速操作消耗的功率不到幾毫瓦。

MirrorcleTech器件由單晶硅制成，具有好的可重復性和可靠性。光學平面和光滑的反射鏡上涂有一層具有所需反射率的薄膜。更大的反射鏡可以結合到致動器上，用于定制孔徑尺寸。直徑從0.8毫米到7.5毫米的鏡子目前有庫存。高達9.0mm的尺寸在特殊應用中得到了成功證明。

MirrorcleTech的MEMS微鏡技術用途廣泛，適用于各種應用。一些器件采用某種通用的準靜態(tài)（點對點）性能規(guī)范制造。其他設備是高度可定制的，以實現(xiàn)特定的規(guī)格集，例如投影顯示器。雖然以下描述主要涉及雙軸裝置，但也有多個單軸設計可用，包括點對點（準靜態(tài)）和諧振型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件解決了需要光束控制的廣泛應用。隨著光學掃描或光束轉向出現(xiàn)在各種行業(yè)和眾多應用中，我們的掃描鏡在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解決方案的應用中most為有利。

• 無萬向節(jié)設計，實現(xiàn)超高速雙軸激光束轉向
• 點對點（準靜態(tài)）或諧振操作模式下的大角度

• MEMS反射鏡：A7M10.2-1000AL
• 帶寬：在基于LPF的驅動中為~2200Hz
• FoR：約34°x 34°關注范圍
• 波長：單個激光二極管光源：綠色（~520nm），<30mW CW功率
• 發(fā)散度（半角，平均值）：<2.5mrad
• 重復性：每個軸<0.005°
• MEMS接口：10針0.05“Samtec連接器，與所有MirrorcleMEMS控制器匹配
• 鏡子尺寸：從0.6毫米到7.5毫米不等
• 激光接口：

共享10針MEMS接口連接器

需要與掃描模塊配對的Mirrorcle MEMS控制器，以匹配激光二極管（LD）特性

• 產(chǎn)地：美國

• 投影顯示器
• 3D掃描
• 激光雷達成像
• 3D跟蹤和位置測量
• 激光打標和雕刻
• 自由空間光學與電信
• 生物醫(yī)學成像