產(chǎn)品簡(jiǎn)介
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132DieMatrixExpanders是UltronSystems電機(jī)驅(qū)動(dòng)晶圓die擴(kuò)膜擴(kuò)展器,專業(yè)為晶片擴(kuò)展和die晶粒展示而設(shè)計(jì)
詳情介紹
晶圓擴(kuò)片機(jī) UH132 Die Matrix Expanders是Ultron Systems電機(jī)驅(qū)動(dòng)晶圓die擴(kuò)膜擴(kuò)展器,專業(yè)為晶片擴(kuò)展和die晶粒展示而設(shè)計(jì)。
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132同級(jí)芯片晶粒die繼續(xù)提供對(duì)die分離工藝參數(shù)的精確控制,但現(xiàn)在采用了帶有數(shù)字速度控制的新電機(jī)驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),通過(guò)在整個(gè)驅(qū)動(dòng)行程中產(chǎn)生線性和均勻膨脹,可提供更高的晶片擴(kuò)展精度。
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132系列的一個(gè)新的可編程功能允許節(jié)省預(yù)熱(停留)時(shí)間和ram速度,提供全面控制和精度,以獲得一致、可重復(fù)的結(jié)果。
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132特征:
-可容納多達(dá)8英寸(200mm)的晶片/膜架(UH132型)和12英寸(300mm)的晶圓/膜架
-電機(jī)驅(qū)動(dòng)柱塞,帶數(shù)字速度控制和2.8“可調(diào)沖程(柱塞高度)
-電動(dòng)圓形切割機(jī)組件(UH132-12型標(biāo)準(zhǔn);UH132型選件)
-帶熱敏電阻的數(shù)字溫控加熱臺(tái)
-可調(diào)行程限位器,實(shí)現(xiàn)一致的膨脹重復(fù)性
-精確控制模具分離距離,實(shí)現(xiàn)一致的重復(fù)性
-通過(guò)10圈千分表精確調(diào)整高度(一對(duì)一比率)
-最多9個(gè)程序可調(diào)節(jié)預(yù)熱時(shí)間(最多99秒)和ram速度(18速設(shè)置)
-安全過(guò)壓傳感器和用于柱塞止動(dòng)的滑動(dòng)離合器
-急停按鈕
-有機(jī)玻璃護(hù)罩,防靜電
-上下夾具總成
-下夾(外夾環(huán))總成和上夾(內(nèi)夾環(huán))組件可以單獨(dú)鉸接,以允許使用更大的夾環(huán)(UH132-12)
-定位銷提供了簡(jiǎn)單而精確的膜架放置
-減少校準(zhǔn)時(shí)間并提高自動(dòng)化過(guò)程的產(chǎn)量
-幾乎消除了運(yùn)算符變量
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