大量晶圓傳送系統(tǒng)SWTM是批量晶片轉(zhuǎn)移設(shè)備,能夠?qū)⒁粋€晶圓盒中的所有晶片轉(zhuǎn)移到另一個盒中。該系統(tǒng)配備一個晶圓盒站、機械晶片凹口/平面對準(zhǔn)器和夾持器機械裝置。
大量晶圓傳送系統(tǒng)可用于100、125、150和200mm晶圓。
大量晶圓傳送系統(tǒng)的傳輸模式：
存儲盒->處理盒
處理盒->特氟隆盒
高輪廓暗盒->低輪廓暗盒
大量晶圓傳送系統(tǒng)特點
吞吐量可達(dá)2000 wph
集成平面/凹口對準(zhǔn)器
抓邊
不需要真空
SECS/GEM合規(guī)
靜電安全
RFID磁帶識別請求
大量晶圓傳送系統(tǒng)
產(chǎn)品二維碼| 參 考 價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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