產(chǎn)品簡(jiǎn)介
這款進(jìn)口spincoater是高精度勻膠儀,勻膠臺(tái),甩膠儀,涂膠儀,旋涂?jī)x,結(jié)構(gòu)緊湊,具有的功能,可安裝到手套箱中使用
詳情介紹
這款進(jìn)口spin coater是高精度勻膠儀,勻膠臺(tái),甩膠儀,涂膠儀,旋涂?jī)x,結(jié)構(gòu)緊湊,具有的功能,可安裝到手套箱中使用。適合150mm晶圓和5英寸×5英寸(127mm×127mm)基板使用,轉(zhuǎn)速為12000RPM(基于100mm硅片).
進(jìn)口spin coater包括一款無(wú)線(xiàn)平板電腦,該平板電腦采用的Laurell Touch過(guò)程控制軟件。通過(guò)使用其附帶的PC軟件Spin 3000,它在過(guò)程定義和使用方面實(shí)現(xiàn)了幾乎的靈活性。該無(wú)線(xiàn)控制器允許操作員在流程執(zhí)行期間從實(shí)驗(yàn)室的任何位置進(jìn)行實(shí)時(shí)交互,包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將在現(xiàn)場(chǎng)通過(guò)可下載的固件版本輕松快速地持續(xù)更新。
進(jìn)口spin coaterPC的使用增加了記錄進(jìn)程運(yùn)行、遠(yuǎn)程操作、編程或跨局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)通信的能力。該軟件免費(fèi)提供,允許操作員在實(shí)際安裝的spin coater硬件之外創(chuàng)建虛擬流程模擬,實(shí)際上,讓他們?cè)谔峤涣鞒讨皣L試。所有進(jìn)口spin coater都可以通過(guò)簡(jiǎn)單的插件模塊(無(wú)論是實(shí)際的還是虛擬的)升級(jí)或重新設(shè)計(jì),無(wú)需返回工廠,并且可以包含幾乎無(wú)限數(shù)量的過(guò)程和步驟。
進(jìn)口spin coater的外殼通常由Laurell Technologies專(zhuān)有的固體共聚共混物制成。與聚丙烯不同,這種材料能夠抵抗溶劑和強(qiáng)酸強(qiáng)堿。樣品可根據(jù)要求進(jìn)行測(cè)試和驗(yàn)證??商峁┕腆wPTFE Hostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外殼(適用于高溫化學(xué)和亞微米顆粒研究)。
進(jìn)口spin coater閉式碗設(shè)計(jì),加上過(guò)程控制器的精度,允許大多數(shù)涂層材料在靜態(tài)狀態(tài)下干燥,提高均勻性并將顆粒污染降至。上部增壓室在底座內(nèi)部關(guān)閉,以提供重疊密封,蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝,用于將流體引導(dǎo)至系統(tǒng)后部,防止化學(xué)品意外滴到基材上。
進(jìn)口spin coater專(zhuān)有的迷宮密封保護(hù)電機(jī)和控制電子設(shè)備免受化學(xué)污染。該密封為工藝室提供氮?dú)獯祾撸⒃诂F(xiàn)場(chǎng)測(cè)試期間證明在亞微米水平上無(wú)顆粒。該系統(tǒng)的蓋子耐化學(xué)腐蝕,并在整個(gè)系統(tǒng)的非濕潤(rùn)區(qū)域使用涂有ECTFE的316不銹鋼螺釘固定。
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