產(chǎn)品簡(jiǎn)介
晶圓貼膜機(jī)是UltronSystems的晶圓合框機(jī),可對(duì)6英寸、8英寸和12英寸晶圓快速貼膜
詳情介紹
晶圓貼膜機(jī)是Ultron Systems的晶圓合框機(jī),可對(duì)6英寸、8英寸和12英寸晶圓快速貼膜。
對(duì)于切割/鋸切應(yīng)用,均勻的粘合薄膜層至關(guān)重要。我們的晶圓貼膜機(jī)具有易于調(diào)節(jié)的彈簧加載輥組件,以及沿x軸和y軸的薄膜張緊桿,以確保薄膜與晶片和薄膜框架的無(wú)氣泡層壓。此外,兩款機(jī)型均配備可伸縮薄膜切割系統(tǒng),切割壓力可調(diào),以適應(yīng)各種膠帶基材和厚度。根據(jù)不同的工藝要求和適應(yīng)不同的晶片厚度,從裝置的上部調(diào)整輥壓力。
晶圓貼膜機(jī)數(shù)字溫度控制器確保工作臺(tái)溫度一致,可重復(fù)安裝。可調(diào)定位銷和真空杯可容納幾乎任何類型的薄膜框架,包括塑料。對(duì)于不同的晶片厚度,工作臺(tái)高度也可相對(duì)于框架高度進(jìn)行調(diào)整。
晶圓貼膜機(jī)有6英寸、8英寸和12英寸的晶片/薄膜框架型號(hào),其特點(diǎn)是:
晶圓貼膜機(jī)特點(diǎn)
易于調(diào)節(jié)的彈簧加載滾輪組件
-均勻的薄膜張力:薄膜張緊桿(對(duì)于UH114,沿x/y軸和前部/后部;對(duì)于UH14-8,-12,在前部和后部)
-均勻粘合提供無(wú)氣泡層壓
-圓形切割機(jī)(輪型),用于在膠片架上切割膠片
-不同薄膜的可調(diào)切割壓力(厚度/硬度)
-數(shù)字溫控臺(tái)板
-從裝置頂部開始的可調(diào)節(jié)工作臺(tái)高度
-使用無(wú)背襯或背襯(可選)膠片進(jìn)行操作
-容納纏繞在外部或內(nèi)部的薄膜/保護(hù)層
-可調(diào)定位銷和真空杯
-接受所有膠片框架(類型和尺寸)
-用于膜分離的端部切割器
-可容納高達(dá)6英寸的晶圓(UH114);高達(dá)8英寸的晶片(UH14-8);高達(dá)12英寸的晶片(UH114-12)
晶圓貼膜機(jī)規(guī)格型號(hào)
UH114型:
-真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺(tái):高達(dá)6“晶片或3“-6”多卡盤
-薄晶片臺(tái),最多6英寸晶片
型號(hào)UH114-8:
-真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺(tái),最多8英寸晶片
-薄晶片臺(tái),高達(dá)8“晶片
-膜架轉(zhuǎn)接環(huán):8“<=>6”
UH114-12型:
-用于12”(300mm)晶片的真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺(tái)
-用于8“晶片的真空固定標(biāo)準(zhǔn)晶片臺(tái)(需要適配器,見下文)
-8“晶片膜架適配器
-薄晶片臺(tái),最多12英寸晶片
-膜架轉(zhuǎn)接環(huán):12“<=>8”
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