涂膠顯影機采用旋涂法涂膠
在旋涂法中旋轉(zhuǎn)襯底被均勻地涂以溶液。 溶液，如光致抗蝕劑，通常分注在晶圓中心。 .然后加速度、最終轉(zhuǎn)速和各步驟的持續(xù)時間使得涂料的一部分經(jīng)離心分離形成厚度均勻的膜。 除了工藝參數(shù)外，溶液或光致抗蝕劑的物理性質(zhì)決定了膜的厚度。
涂膠顯影機采用浸置式顯影
在此工藝中，一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上，并通過適度的旋轉(zhuǎn)分散開。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸狀的液面（“Puddle”）。 當(dāng)顯影時間結(jié)束后，通過提高旋轉(zhuǎn)速度甩干晶圓上的顯影液。 然后，用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉(zhuǎn)速甩干。 這種方法的優(yōu)點是，只需使用少量顯影液，就能提供優(yōu)異的顯影結(jié)果。
浸置式顯影法不得用于顯影液達到飽和時，例如當(dāng)必須除去大量顯影后的光刻膠時或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時。 在這些情況下，需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。
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