測(cè)試薄膜的介電常數(shù)儀器設(shè)備系列

樹(shù)立 LCR 表

精密 LCR 表實(shí)現(xiàn)精度、速度與通用性的*結(jié)合，適用于各種類(lèi)型的元件測(cè)量。無(wú)論是在低阻抗量程還是高阻抗量程，均具有極快的測(cè)量速度和出色的測(cè)量性能，因此是常規(guī)的元件研發(fā)測(cè)試和制造測(cè)試以及材料測(cè)試的理想工具。

極快的測(cè)量速度

 提供極快的測(cè)量速度：– 5.6 ms (短時(shí)間)2  ， – 88 ms (中等時(shí)間)2  ，– 220 ms (長(zhǎng)時(shí)間)2

精確的測(cè)量  

在低阻抗和高阻抗量程均具有極低的噪聲，能以?xún)?yōu)異的精度和可重復(fù)性測(cè)試電感器和電容器的性能特征。

– 0.05% 基本阻抗精度，-1/2/4米電纜延長(zhǎng)功能，-開(kāi)路/短路/負(fù)載校正

主要特性

的測(cè)量精度

在低阻抗和高阻抗測(cè)試量程上均具有極低的噪聲, 可顯著提高測(cè)試質(zhì)量。– 0.05 % 基本阻抗精度，– 支持開(kāi)路/短路/負(fù)載補(bǔ)償，– 支持電纜延長(zhǎng)M (1/2/4 米)

豐富的測(cè)量功能

– 20 Hz 至 2 MHz 測(cè)試頻率范圍, 在任何頻率上均可達(dá)到 4 位分辨率，– 16 種阻抗參數(shù)，– 100 μV 至 2 Vrms, 1 μA 至 20 mA 可變測(cè)試信號(hào)，– 自動(dòng)電平控制，– 201 點(diǎn)可編程列表掃描

選件 功率和直流偏置增強(qiáng)

– 0 至 20 Vrms/100 mArms 測(cè)試信號(hào)，– 內(nèi)置 40 V 直流偏置, 0.3 mV 分辨率，– 內(nèi)置 10 V 直流電源，– 直流電阻、直流電流和直流電壓測(cè)量功能。

高達(dá) 2 MHz 的精確和快速的測(cè)量

精確的測(cè)量結(jié)果讓用戶(hù)對(duì)設(shè)計(jì)與測(cè)試充滿(mǎn)信心

廣泛的阻抗測(cè)量

LCR 表性能，適用于所有阻抗測(cè)量?？箿y(cè)量。

要滿(mǎn)足當(dāng)前新器件的測(cè)試要求，需要可靠的測(cè)量性能。只有能同時(shí)在低阻抗量程和高阻抗量程上，提供極快的測(cè)量速度和出色的測(cè)量性能，以及*的耗散系數(shù)精度。

穩(wěn)定的小 ESR/低阻抗測(cè)量

為滿(mǎn)足高速和低功耗電路的需求，電容器的等效串聯(lián)電阻 (ESR) 正變得越來(lái)越小，給測(cè)量造成很大的麻煩。在這方面的測(cè)量性能具有*的穩(wěn)定性。

極其精確的高阻抗測(cè)量

片狀電容器和半導(dǎo)體晶圓的電容值現(xiàn)已到毫微微法拉 (fF) 級(jí)。為實(shí)現(xiàn)更高的良率和設(shè)計(jì)可靠性，需要執(zhí)行極其穩(wěn)定和精確的的高阻抗測(cè)量。在這方面的性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了早期已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 LCR 表 ，可進(jìn)一步改善小電容器件的測(cè)量穩(wěn)定性。

提供業(yè)界*的速度和精度組合

6 種方便的顯示模式

可任選 6 種顯示模式之一，適應(yīng)您特定的測(cè)量需求。– 正常視圖, 查看測(cè)試數(shù)據(jù)的各個(gè)方面，– 放大視圖, 讓讀數(shù)更容易查看，– 料倉(cāng)號(hào)視圖, 比較測(cè)量結(jié)果并對(duì)器件進(jìn)行分類(lèi)，– 料倉(cāng)計(jì)數(shù)視圖, 用于統(tǒng)計(jì)和評(píng)定，

– 列表掃描視圖, 用于顯示連續(xù)數(shù)據(jù)，– 空屏視圖, 在zui高測(cè)試速度時(shí)關(guān)閉顯示屏，節(jié)省屏幕刷新時(shí)間。

直流參數(shù)測(cè)量 (選件 001)

同時(shí)測(cè)量直流電壓、直流電流和阻抗。

也可為電容測(cè)試進(jìn)行泄漏電流測(cè)量。

40 V 直流偏置 (選件 001)

內(nèi)置寬范圍 (± 40 Vdc/100 mA) 直流偏置

源支持精確評(píng)測(cè)直流偏置與阻抗的關(guān)系。

直流電源 (選件 001)

提供附加的獨(dú)立直流電源端口，以擴(kuò)展直流

控制和偏置應(yīng)用的靈活性。例如，該選件可

用于三端口器件的測(cè)量，使您能控制被測(cè)器

件、增加額外的偏置，并同時(shí)控制其他器件。

201 點(diǎn)列表掃描

頻率、測(cè)量范圍和激勵(lì)條件均可作為列表參

數(shù)設(shè)置 (zui多 201 個(gè)點(diǎn))。您可以分別選擇

兩個(gè)參數(shù)，用以在各種測(cè)量條件下測(cè)試。

直流電阻測(cè)量

對(duì)于電感器測(cè)量，可以同時(shí)測(cè)量 Ls、Lp 和

Rdc 參數(shù)。

功率和直流偏置增強(qiáng)

20 Vrms 測(cè)試信號(hào) (選件 001)

強(qiáng)大的交流測(cè)試信號(hào)輸出達(dá) 20 Vrms、

100 mArms (zui大值)，從而使您在測(cè)試器

件對(duì)交流電平的依賴(lài)性時(shí)無(wú)需使用外部放

大器。

工作效率超出預(yù)期水平

支持各種測(cè)試夾具

可使用超過(guò) 20 種夾具，以滿(mǎn)足從

材料到 SMD 元件的不同測(cè)量需求。內(nèi)置

補(bǔ)償功能可將測(cè)試夾具的影響降至zui低。

USB 存儲(chǔ)器支持

前面板上的 USB 存儲(chǔ)器接口可讓您快速、

輕松地將狀態(tài)文件、測(cè)量記錄數(shù)據(jù)和顯示

圖像保存到外部 USB 存儲(chǔ)器設(shè)備 (大容量存儲(chǔ)器)。

PC 連通性

標(biāo)配 GPIB/LAN/USB 控制接口提供各種控制儀器的途徑。使用 LAN 電纜，您甚至能用計(jì)算機(jī)和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制 E4980A。

掃描儀或機(jī)械手接口選件

提供一個(gè)光隔離 9 料倉(cāng)機(jī)械手(選件 201)，可集成到機(jī)械手系統(tǒng)中。128 通道掃描儀接口 (選件 301) 能夠?yàn)樾枰呙鑳x的應(yīng)用提供便利。這兩種接口都能兼容其他 LCR 系統(tǒng)儀器 (例如4284A/88A/78A)，因此能輕松地集成到系統(tǒng)中。多補(bǔ)償功能可以啟用開(kāi)路/短路/負(fù)載補(bǔ)償，在每個(gè)掃描儀通道中單獨(dú)執(zhí)行掃描測(cè)量。這樣可以盡量減小不同通道之間測(cè)量值的不*性，使整個(gè)掃描儀系統(tǒng)能夠執(zhí)行更精確的測(cè)量。

可升級(jí)

E4980AU-001 (功率和直流偏置增強(qiáng))、E4980AU-201 (機(jī)械手接口)、E4980AU-301(掃描儀接口) 等升級(jí)選件使您的投資可以獲得zui大回報(bào)。詳情參見(jiàn)配置指南。

7 | 公司 | E4980A 精密 LCR 表－手冊(cè)

增強(qiáng)的測(cè)試效率

公司 4284A 精密 LCR 表和 4279A1 MHz C-V 表一直被*為是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試設(shè)備，廣泛用于各種阻抗測(cè)量應(yīng)用。

E4980A LCR 表綜合了速度、精度和強(qiáng)大的功能特性，可以*提高您的測(cè)量效率并簡(jiǎn)化測(cè)量工作。

高度兼容性可以簡(jiǎn)化型號(hào)過(guò)渡

E4980A 幾乎所有功能都與 4284A 和 4279A兼容，因此用戶(hù)能夠非常輕松地過(guò)渡到使用 E4980A 執(zhí)行測(cè)量。有關(guān)過(guò)渡的更多信息，請(qǐng)參閱我們上的技術(shù)概述《從 公司 4284A 過(guò)渡到 公司E4980A 精密 LCR 表》和《從 公司4279A 過(guò)渡到 公司 E4980A 精密 LCR 表》

主要技術(shù)指標(biāo)和功能兼容性

E4980A     精密 LCR 表, 20 Hz 至 2MHz (zui高的精度和速度)

E4980A-005 入門(mén)級(jí)型號(hào)的精密 LCR 表，20 Hz 至 2MHz  (精度相同但速度稍低)

功率和直流偏置增強(qiáng)選件

E4980A-001 功率和直流偏置增強(qiáng)

DCR 測(cè)量選件 (必選)

E4980A-200 DCR 測(cè)量

接口選件

E4980A-710 無(wú)接口

E4980A-002 偏置電流接口

E4980A-201 機(jī)械手接口

E4980A-301 掃描儀接口

其他選件

E4980A-ABA 添加印刷版用戶(hù)指南 (英語(yǔ)) 

E4980A-ABJ 添加印刷版用戶(hù)指南(日語(yǔ)) 

E4980A-1A7 添加 ISO 17025

*性校準(zhǔn)

E4980A-1CM1 添加機(jī)架安裝套件

功率/直流偏置相關(guān)選件 (下面兩種選件任選其一)

接口相關(guān)選件 (下面兩種選件任選其一) 2

測(cè)試薄膜的介電常數(shù)儀器設(shè)備