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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為Ø50mm，加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設(shè)備進行控制，操作方便直觀。該機設(shè)備小巧，占用實驗室空間少，操作簡單，應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實驗室中。
產(chǎn)品名稱 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 |
產(chǎn)品型號 | VTC-16-3HD 3 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點 | 1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4、已通過CE認證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、輸出功率：1600VDC 50mA（max電流） 3、石英罩：Ø160mm×120mm 4、樣品臺：Ø50mm（可選購加熱型樣品臺，極限溫度可到500℃；極限濺射時間不可超過5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 6、進氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進氣量 7、靶材：尺寸直徑Ø47mm，厚度0.5mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、Al、Zn、C等 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg |
可選配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 |
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