高溫四探針電阻率測試儀探針間距 

標配外（選購）：

溫度精度 沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C

供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW：

高溫電源：

高溫四探針電阻率測試儀探針間距 

標配外（選購）：

溫度精度 沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C

供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW：

高溫電源：

規(guī)格型號 FT-351A FT-351B FT-351C

用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.

方塊電阻范圍 10-5～2×105Ω 10-6～2×105Ω 10-4～1×107Ω

電阻精度 ≤0.3% ≤0.3% ≤10%

PC軟件界面 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

二.適用行業(yè)：:

雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。

高溫材料 采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征

溫度(選購)

電極材料 鎢電極或鉬電極 

配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀 電阻、電阻率、電導率測量

誤差 ≤3%（標準樣片結果 ≤15%

采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統與高溫箱結合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數據的處理和測量控制，解決半導體材料的電導率對溫度變化測量要求，軟件實時繪制出溫度與電阻，電阻率，電導率數據的變化曲線圖譜，及過程數據值的報表分析.

常溫 --400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃

電流精度 ±0.1%讀數 ±0.1讀數 ±2%

氣氛保護（氣體客戶自備） 常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子

升溫速度： 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘

電腦和打印機1套；2.標準電阻1-5個

測試方式 雙電測量

測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數據！ 

四探針儀工作電源 AC 220V±10%.50Hz  <30W 

一.BEST-351系統概述：

直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑

測試電流范圍 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA?---200pA

三.型號及參數：

電阻率范圍 10-6～2×106Ω-cm 10-7～2×106Ω-cm 10-5～2×108Ω-cm

PC軟件

規(guī)格型號 FT-351A FT-351B FT-351C

用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.

方塊電阻范圍 10-5～2×105Ω 10-6～2×105Ω 10-4～1×107Ω

電阻精度 ≤0.3% ≤0.3% ≤10%

PC軟件界面 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

二.適用行業(yè)：:

雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。

高溫材料 采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征

溫度(選購)

電極材料 鎢電極或鉬電極 

配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀 電阻、電阻率、電導率測量

誤差 ≤3%（標準樣片結果 ≤15%

組阻的程圖統，與數探件制雙高四對理值出，阻件分軟測采量合過法度變率率具導探導電測的報合四的半時材C方配據治系方電與高溫，溫化數溫用料譜曲據置實化的導試線電量軟電P解數據變表測.箱，與試對析結和及體率測量繪要率求度和電阻測電決探制針針控阻，溫處針

℃62100001；0；08℃0℃44；10；10006 ℃0常-0；℃；溫℃℃00-

數%精1數±± 0.±讀電1%2度 .流0 讀

的(re氣氪子N用、A、無(分色、 氦ee子護氬氣臭、，、((保態(tài)氙、)體自H戶單氖常X)均(r)如、體）氣)氛)（客R)：為K氡備氣無(原下n

1要要：30℃0分005 分鐘開02；要鐘0468鐘溫0-溫；0℃0120℃℃0需-0411升—3℃50分速℃-常-08分度鐘需始0需0

1.印機打套和準1-個2電阻腦電5標；

式試方電量雙測 測

和訊、保C測P軟，印一接界！件通S顯軟面口步件析據試同數、 B存套示U，打分

A1%工H<VW3探 ±0C5 電針 作儀 2.源四2000z

一.BEST-351高溫四探針電阻率測試系統概述：

直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑

測試電流范圍 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA?---200pA

三.型號及參數：

電阻率范圍 10-6～2×106Ω-cm 10-7～2×106Ω-cm 10-5～2×108Ω-cm

PC軟件