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實(shí)現(xiàn)突破!國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀成功面世

2022-06-27 09:33:17來(lái)源:化工儀器網(wǎng) 閱讀量:112 評(píng)論

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導(dǎo)讀:JS100A臺(tái)階儀采用了金剛石探針,提供了兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣片和針尖同時(shí)成像,可清晰準(zhǔn)確找到測(cè)試位置,實(shí)現(xiàn)無(wú)畸變觀察樣品區(qū)。

  臺(tái)階儀(Profiler),一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,因?yàn)榫雀?、量程大、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn),在微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域,被廣泛用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測(cè)量。而就是這樣一種常見且關(guān)鍵的測(cè)量設(shè)備,一直以來(lái)卻被美國(guó)Bruke、美國(guó)KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷,國(guó)內(nèi)處于一個(gè)無(wú)同類國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品可用的狀態(tài)。
 
  進(jìn)口臺(tái)階儀受限帶來(lái)的是越來(lái)越多國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)對(duì)于國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀的迫切需求。而就在今年,這一情況被打破了。2022年6月,安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發(fā)的全國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀JS100A,國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀至此也實(shí)現(xiàn)了重要突破。
 

 

  JS100A臺(tái)階儀采用了金剛石探針,提供了兩個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣片和針尖同時(shí)成像,可清晰準(zhǔn)確找到測(cè)試位置,實(shí)現(xiàn)無(wú)畸變觀察樣品區(qū)。同時(shí),在實(shí)時(shí)掃描過(guò)程中,JS100A能自動(dòng)切換輔助顯微鏡,進(jìn)一步保障掃描的準(zhǔn)確性。
 
  而在核心技術(shù)方面,JS100A實(shí)現(xiàn)了3個(gè)突破,即“大行程超平面掃描技術(shù)”“大行程壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速進(jìn)針技術(shù)”“大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)技術(shù)”,這三大突破也讓臺(tái)階儀具備了超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制,超精密位移傳感,超低噪聲信號(hào)采集。
 
  此外,從儀器商品的角度來(lái)說(shuō),JS100A臺(tái)階儀作為全國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀,售價(jià)會(huì)遠(yuǎn)低于進(jìn)口產(chǎn)品,可以降低用戶的采購(gòu)成本,并且相對(duì)的,能夠提供更加完善便攜的售后服務(wù),給用戶帶去更多便利。
 

 

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