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實(shí)現(xiàn)突破！國產(chǎn)化臺(tái)階儀成功面世

2022-06-27 09:33:17來源：化工儀器網(wǎng) 閱讀量：165 評論

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　　臺(tái)階儀(Profiler)，一種接觸式表面形貌測量儀器，因?yàn)榫雀摺⒘砍檀?、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)，在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域，被廣泛用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量。而就是這樣一種常見且關(guān)鍵的測量設(shè)備，一直以來卻被美國Bruke、美國KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷，國內(nèi)處于一個(gè)無同類國產(chǎn)產(chǎn)品可用的狀態(tài)。
 
　　進(jìn)口臺(tái)階儀受限帶來的是越來越多國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)對于國產(chǎn)臺(tái)階儀的迫切需求。而就在今年，這一情況被打破了。2022年6月，安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發(fā)的全國產(chǎn)化臺(tái)階儀JS100A，國產(chǎn)化臺(tái)階儀至此也實(shí)現(xiàn)了重要突破。
 

 

　　JS100A臺(tái)階儀采用了金剛石探針，提供了兩個(gè)彩色攝像頭對樣片和針尖同時(shí)成像，可清晰準(zhǔn)確找到測試位置，實(shí)現(xiàn)無畸變觀察樣品區(qū)。同時(shí)，在實(shí)時(shí)掃描過程中，JS100A能自動(dòng)切換輔助顯微鏡，進(jìn)一步保障掃描的準(zhǔn)確性。
 
　　而在核心技術(shù)方面，JS100A實(shí)現(xiàn)了3個(gè)突破，即“大行程超平面掃描技術(shù)”“大行程壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速進(jìn)針技術(shù)”“大帶寬大行程納米微動(dòng)臺(tái)技術(shù)”，這三大突破也讓臺(tái)階儀具備了超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號(hào)采集。
 
　　此外，從儀器商品的角度來說，JS100A臺(tái)階儀作為全國產(chǎn)化臺(tái)階儀，售價(jià)會(huì)遠(yuǎn)低于進(jìn)口產(chǎn)品，可以降低用戶的采購成本，并且相對的，能夠提供更加完善便攜的售后服務(wù)，給用戶帶去更多便利。
 

 

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