日本精工株式會(huì)社(以下簡稱NSK)將向市場推出可兼容EtherCAT*1的NSK高精度定位和搬運(yùn)設(shè)備用“直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)”驅(qū)動(dòng)器(“驅(qū)動(dòng)器EGC型”和“信號(hào)變換器ECC型”,以下簡稱本產(chǎn)品)。本產(chǎn)品不僅保證了直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的高耐環(huán)境性能,同時(shí)可對(duì)多臺(tái)電機(jī)集成控制,實(shí)現(xiàn)高速同步運(yùn)轉(zhuǎn),以及更精細(xì)的旋轉(zhuǎn)定位。這將有助于提升半導(dǎo)體制造設(shè)備及其它應(yīng)用設(shè)備的高精度定位能力,從而提高生產(chǎn)效率。
本產(chǎn)品已于2024年12月在東京「SEMICON Japan 2024」上展出。根據(jù)現(xiàn)場客戶的反饋意見優(yōu)化后,直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)PS3015、PN4135的兩型號(hào)將于2025年4月首發(fā)。預(yù)計(jì)到2026年3月,本產(chǎn)品將可對(duì)應(yīng)直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的11種型號(hào),計(jì)劃在2026年實(shí)現(xiàn)15億日元的銷售額。
▲直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)(左)和本產(chǎn)品(右)
EtherCAT是一種工業(yè)以太網(wǎng)技術(shù),具有出色的實(shí)時(shí)性,近年來市場份額不斷擴(kuò)大,可實(shí)現(xiàn)多電機(jī)集成控制和高速同步運(yùn)行
與現(xiàn)有產(chǎn)品相比,直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)*2的角度分辨率*3提高了1.6倍(提高至419萬計(jì)數(shù)/轉(zhuǎn)),實(shí)現(xiàn)更精確的旋轉(zhuǎn)定位
計(jì)劃從2025年4月起逐步開始銷售,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備及其他應(yīng)用設(shè)備
◎ 開發(fā)背景
?直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的特點(diǎn)
直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)是NSK的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)產(chǎn)品(無需減速箱,伺服電機(jī)直接與旋轉(zhuǎn)部件相連的高精度定位·搬運(yùn)設(shè)備)。軸承、伺服電機(jī)和角度傳感器的一體化結(jié)構(gòu)可精確驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),使運(yùn)輸對(duì)象快速移動(dòng)并停在正確位置。它具有較高的環(huán)境耐受性,其中,角度傳感器使用了高可靠性的專用旋變傳感器*4,即使在嚴(yán)苛的環(huán)境中也能保持性能穩(wěn)定,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備及工業(yè)機(jī)械設(shè)備。
▲帶減速箱的伺服電機(jī)的使用例(左)、直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)(右)
?直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的市場要求
近年來,在工業(yè)4.0和物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展趨勢的背景下,工業(yè)以太網(wǎng)作為連接設(shè)備與通信的現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò),憑借其高速性和實(shí)時(shí)性在各類工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域中得到快速普及。在半導(dǎo)體制造設(shè)備行業(yè)中,EtherCAT憑借其卓越的實(shí)時(shí)性能,在工業(yè)以太網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)中占據(jù)了越來越大的份額,因此,對(duì)直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī),可支持EtherCAT運(yùn)行的需求也越來越高。另外,除了半導(dǎo)體制造設(shè)備,在電子元件檢測設(shè)備和圖像處理設(shè)備等應(yīng)用領(lǐng)域中,EtherCAT兼容的需求也在不斷增長。另一方面,在半導(dǎo)體產(chǎn)品精度不斷提高的背景下,對(duì)直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的精度要求也進(jìn)一步提高。
◎ 產(chǎn)品特點(diǎn)
?支持EtherCAT,可實(shí)現(xiàn)對(duì)多臺(tái)電機(jī)集成控制和高速同步運(yùn)行
直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)上可應(yīng)用EtherCAT,可實(shí)現(xiàn)包含直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)及其他裝置設(shè)備的多臺(tái)電機(jī)集成控制和高速同步運(yùn)行。這縮短了設(shè)備的啟動(dòng)時(shí)間和各工序的操作時(shí)間,有助于提高生產(chǎn)效率。
?與目前專用的驅(qū)動(dòng)單元情況相比,直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的角度分辨率提高了1.6倍(達(dá)到419萬計(jì)數(shù)/轉(zhuǎn)),從而實(shí)現(xiàn)了更精確的旋轉(zhuǎn)定位
本產(chǎn)品的變頻器,對(duì)直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)內(nèi)置的專用分解器發(fā)出的信號(hào)進(jìn)行模擬/數(shù)字化處理,使角度分辨率比現(xiàn)有產(chǎn)品(角度分辨率:262萬計(jì)數(shù)/轉(zhuǎn))提高了1.6倍(角度分辨率:419萬計(jì)數(shù)/轉(zhuǎn))。這使得直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的旋轉(zhuǎn)定位更加精確,有助于設(shè)備高精度定位。
?可對(duì)應(yīng)現(xiàn)有直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)11種型號(hào)
本產(chǎn)品能匹配11種型號(hào)產(chǎn)品系列的直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī),可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子元件檢測、圖像處理等多種設(shè)備。即使是已經(jīng)使用直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的設(shè)備,也可以通過安裝本產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)EtherCAT的技術(shù)支持。
◎ 開發(fā)品的效果
該產(chǎn)品的推出,在保持直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)現(xiàn)有的高耐環(huán)境性能的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了對(duì)多臺(tái)電機(jī)的集成控制和高速同步運(yùn)轉(zhuǎn),并使直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī)的旋轉(zhuǎn)定位更加精確。這將有助于提高半導(dǎo)體制造設(shè)備等各種應(yīng)用設(shè)備的生產(chǎn)效率和定位精度。
*1 EtherCAT (Ethernet Control Automation Technology) : 德國Beckhoff Automation GmbH的注冊(cè)商標(biāo)和專利技術(shù)。
*2 直驅(qū)大轉(zhuǎn)矩伺服電機(jī): NSK直接驅(qū)動(dòng)式電機(jī)(不使用減速箱的高精度定位·搬運(yùn)設(shè)備)。點(diǎn)擊閱讀原文了解更多?
*3 角度分辨率: 電機(jī)旋轉(zhuǎn)一次(360度)所能控制的最小旋轉(zhuǎn)角度。
*4 旋變傳感器: 由線圈和鐵芯組成,根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度輸出交流信號(hào)的角度傳感器。
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