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中國膜工業(yè)協(xié)會關(guān)于《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》等三項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施的通知

2024-06-08 14:02:36來源：中國膜工業(yè)協(xié)會 閱讀量：210 評論

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導(dǎo)讀：中國膜工業(yè)協(xié)會《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》等三項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布實(shí)施。

　　中國膜工業(yè)協(xié)會、中國膜工業(yè)協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)化委員會于2024年5月24日批準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》、《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝制程混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》、《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝拋光混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》三項(xiàng)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)予以發(fā)布。
 
　　
       其中，《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法，適用于半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂。
 
　　起草單位：江蘇蘇青水處理工程集團(tuán)有限公司，寧波爭光樹脂有限公司，西安藍(lán)曉科技新材料股份有限公司，南京大學(xué)，鶴壁市海格化工科技有限公司，蚌埠市天星樹脂有限責(zé)任公司，中國船舶集團(tuán)有限公司第七一九研究所，北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司。
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