4月22日,由中國科協(xié)新技術(shù)開發(fā)中心、中國國際光電博覽會組委會、深圳市光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會主辦的2024中國(成都)國際精密光學(xué)暨機器視覺技術(shù)應(yīng)用大會在成都環(huán)球中心天堂洲際大飯店開幕。
大會共計兩天,今日會議包含“賦能新業(yè)態(tài),超精微納光學(xué)技術(shù)創(chuàng)造無限可能”、“納米壓印光刻的今天和明天—看微納制造技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化” 兩個專題。
專題一:賦能新業(yè)態(tài),超精微納光學(xué)技術(shù)創(chuàng)造無限可能
上午場會議出席嘉賓包括中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所特聘研究員,中國光學(xué)學(xué)會光學(xué)制造專委會范斌秘書長、中山大學(xué)物理學(xué)院副院長 董建文教授、以及與光科技、新思科技、匕令科技等知名企業(yè)高層。聚焦微納光學(xué)前沿技術(shù)領(lǐng)域,深度探討超表面及多維光場調(diào)控、納米壓印超透鏡陣列、超表面產(chǎn)業(yè)化的實踐與探索、芯片化
光譜成像技術(shù)等前沿?zé)衢T話題。
專題二:“納米壓印光刻的今天和明天”—看微納制造技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化
下午的會議邀請到湖南大學(xué)粵港澳大灣區(qū)創(chuàng)新研究院院長 段輝高教授、香港理工大學(xué)工業(yè)及系統(tǒng)工程學(xué)系/超精密加工技術(shù)國家重點實驗室 王文奎博士以及天仁微納、光舵微納、EULITHA、貝瑞光電等知名企業(yè)高層,探討極端微納制造、納米壓印光刻、位移泰伯光刻技術(shù)、超光滑拋光技術(shù)等熱門話題。
活動現(xiàn)場
到場的參會觀眾,包括微納元器件廠商、超精密加工設(shè)備廠商、半導(dǎo)體材料/加工設(shè)備廠商、機器視覺廠商、鏡頭模組廠商、以及光學(xué)應(yīng)用終端企業(yè)等等。
與此同時,會場周圍設(shè)置展覽展示區(qū),共有100多家企業(yè)/品牌展出產(chǎn)品。展品范圍覆蓋:
新型微納元器件、超精密加工設(shè)備、半導(dǎo)體加工設(shè)備、工業(yè)相機、機器視覺檢測系統(tǒng)及設(shè)備、光學(xué)成像測試測量儀器、光學(xué)鏡頭及攝像模組、光學(xué)鍍膜材料及設(shè)備等,多角度展示精密光學(xué)上下游新產(chǎn)品新技術(shù)。
現(xiàn)場特設(shè)展示區(qū)
專題一:賦能新業(yè)態(tài),超精微納光學(xué)技術(shù)創(chuàng)造無限可能
嘉賓分享
主辦方歡迎致辭
楊耕碩 Eric Yang
中國國際光電博覽會(CIOE)秘書長
中國光學(xué)學(xué)會 常務(wù)理事
楊總表示:“CIOE中國光博會作為始終深耕光電行業(yè),助推國家光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的專業(yè)平臺,我們希望能夠充分發(fā)揮中國光博會在光電產(chǎn)業(yè)中的平臺和紐帶作用,增強光電行業(yè)互動,進一步促進精密光學(xué)及機器視覺產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展及其應(yīng)用領(lǐng)域的融合。共同努力,實現(xiàn)行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵性突破!“
“微波光子學(xué)、生物光子學(xué)、納米光子學(xué)和拓撲光子學(xué)是幾個典型的微納光學(xué)的前沿領(lǐng)域,這些領(lǐng)域的研究成果,不僅推動了微納光學(xué)的發(fā)展,也為其他相關(guān)領(lǐng)域的研究提供了新的思路和方法。微納加工技術(shù)作為衡量國家高端制造業(yè)水平的重要標志之一,面對未來世界發(fā)展的舞臺,進一步提升微納技術(shù)的發(fā)展速度已迫在眉睫。
機器視覺技術(shù)使得工作設(shè)備能夠“看到”它正在進行的操作,并進行快速的決策,機器視覺與人工智能逐漸融合,引領(lǐng)工業(yè)4.0的過渡,擁有著不可估量的市場前景。“
成都市博覽局致辭
高敏
成都市博覽局 副局長
高敏副局長表示:“近年來,成都依托中科院光電技術(shù)研究所等豐富的科研資源和優(yōu)秀的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),大力發(fā)展光電產(chǎn)業(yè),取得了顯著的成果。目前,成都已經(jīng)聚集了一批優(yōu)質(zhì)的光電產(chǎn)業(yè)企業(yè)和研究機構(gòu),形成了完整的產(chǎn)業(yè)鏈和生態(tài)圈,同時,成都深入推進會展產(chǎn)業(yè)建圈強鏈,強化會展與產(chǎn)業(yè)的一體化發(fā)展,賦能企業(yè),積極為重點企業(yè)、重點行業(yè)搭建展示和合作交流的平臺,推動產(chǎn)業(yè)鏈向上下游延伸,促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。我們熱忱地期盼更多的企業(yè)家將投資興業(yè)的目光投向成都,到成都產(chǎn)業(yè)區(qū),企業(yè)內(nèi)去走走看看,感受成都美好的發(fā)展機遇和無限的可能。”
基于單片衍射元件的成像技術(shù)研究
范斌
中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 特聘研究員
中國光學(xué)學(xué)會光學(xué)制造專委會 秘書長
范秘書長重點介紹了基于端到端的消色差諧衍射透鏡設(shè)計方法。以成像鏈路各環(huán)節(jié)的傳輸和響應(yīng)特性為研究對象,創(chuàng)新性提出基于衍射元件的光學(xué)—算法協(xié)同設(shè)計新思路,解決衍射元件色差大、非近軸條件下像差復(fù)雜等困擾問題,擴展了衍射光學(xué)元件設(shè)計與應(yīng)用的新維度。
范秘書長表示“單片衍射元件的成像具備高科技、高效能和高質(zhì)量的特征。我們希望在機器視覺未來蓬勃發(fā)展的機遇下,能夠把這個技術(shù)進一步拓展到偏振光譜、深度和相位等方面。也希望和大家聯(lián)手進一步推動單片衍射元件成像的技術(shù)發(fā)展,作為新質(zhì)生產(chǎn)力推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展。””
芯片化光譜成像技術(shù)的發(fā)展趨勢和應(yīng)用前景
王宇
北京與光科技有限公司 聯(lián)合創(chuàng)始人/董事長/首席執(zhí)行官
(會議現(xiàn)場由王漢楠女士代為演講)
與光科技的代表從行業(yè)當前三大痛點:體積大、價格高以及成像緩慢出發(fā),重點介紹了計算光譜這一技術(shù)路線。計算光譜將傳統(tǒng)的技術(shù)難點轉(zhuǎn)嫁到算法和算力上,突破傳統(tǒng)成像的技術(shù)限制,從而實現(xiàn)從不完整的物理測量中,盡可能多的去恢復(fù)待測物的信息。計算重建算法,進一步推動了基于超表面、量子點、納米線等新型光譜成像技術(shù)涌現(xiàn)。
此外,王總表示“當前許多方案都將探測器陣列直接和CMOS集成。
主要有四個方面的優(yōu)勢:一、能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓級的制備技術(shù);二、具有較高的集成度,將光子器件和電子器件集成在同一個硅片上;三、成本上很有優(yōu)勢;四、也可以復(fù)用現(xiàn)有的CMOS工具來實現(xiàn)設(shè)計流程的簡化。”
納米壓印超透鏡陣列用于近眼集成成像光場顯示
董建文
中山大學(xué) 物理學(xué)院 副院長、教授
報告以“納米壓印超透鏡陣列用于近眼集成成像光場顯示“為題,分享了團隊在納米壓印超透鏡方面的研究心得。主要介紹了在微納超表面與計算顯示成像的相關(guān)工作,以及納米壓印以及近眼光場顯示方面的應(yīng)用。
董教授提出:“超表面的光場調(diào)控精度高、光場調(diào)控自由度高,并且完全與現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造工藝兼容,有著其獨特的優(yōu)勢。而納米壓印能夠滿足大面積的需要。超表面技術(shù)與納米壓印進行結(jié)合,能夠往更高精度、更大面積、更低成本的方向發(fā)展。”
從設(shè)計到半導(dǎo)體制程:全面探索超透鏡創(chuàng)新仿真流程
劉惠卿
新思半導(dǎo)體科技 亞太區(qū)光學(xué)解決方案技術(shù)總監(jiān)
報告講述了最前沿的超透鏡設(shè)計方法,以及考量了半導(dǎo)體加工的工作流程。劉總表示:“不同的超透鏡的設(shè)計工具可以幫助我們在設(shè)計的時候更容易,進入的門檻更低。如果考慮到制造工藝把半導(dǎo)體跟光學(xué)結(jié)合在一起的話,在設(shè)計初期的時候就可以考慮到更低制造成本的工藝技術(shù)。而且新思制造意識的超原子庫,也可以幫助我們在第一次的設(shè)計就達到正確的目標。”
超表面在產(chǎn)業(yè)化的探索和實踐:紅外已來,未來可見
錢紫衡
上海匕令科技有限公司 產(chǎn)品市場經(jīng)理
報告以“超表面在產(chǎn)業(yè)化的探索和實踐:紅外已來,未來可見”為題,從超表面相對于傳統(tǒng)透鏡,甚至于衍射透鏡的優(yōu)勢對比出發(fā),闡述了Alpha Cen在超表面技術(shù)產(chǎn)業(yè)化所做的努力,以及在近紅外到
可見光波段,在傳感、測距到成像等領(lǐng)域的應(yīng)用探索。
專題二:“納米壓印光刻的今天和明天”—看微納制造技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化
嘉賓分享
極端微納制造及光學(xué)應(yīng)用
段輝高
湖南大學(xué)粵港澳大灣區(qū)創(chuàng)新研究院 院長/教授
段院長以“極端微納制造及光學(xué)應(yīng)用”為題,從精密制造的本質(zhì)出發(fā),探討光學(xué)制造未來的發(fā)展趨勢。同時,也從產(chǎn)業(yè)需求牽引以及學(xué)術(shù)前沿牽引的角度,分享了團隊目前在探索的超構(gòu)材料與器件。例如:微型濾光片陣列、液晶調(diào)控動態(tài)超構(gòu)表面、多維信息探測用平面透鏡等。
段院長表示“光學(xué)精密制造主要是通過我們的光學(xué)手段來完成,精密測量也需要通過光學(xué)手段來實現(xiàn)。不管是現(xiàn)在的量子技術(shù)、生物科技、生物芯片等新興產(chǎn)業(yè),還是未來產(chǎn)業(yè),這些新質(zhì)生產(chǎn)力都是高度依賴于我們現(xiàn)在光學(xué)精密制造或者光學(xué)精密元件。當前我們的制造參數(shù)愈發(fā)的極端化。與此同時,多維結(jié)構(gòu)以及多維材料的需求,都對制造出了大量的挑戰(zhàn)。光學(xué)精密制造最終肯定會達到原子尺度與精度的制造要求,從而達成量子功能與性能的目標。
高精度對位壓印技術(shù)與高精度步進壓印技術(shù)在微納制造中的應(yīng)用
史曉華
蘇州光舵微納科技股份有限公司 總經(jīng)理
報告介紹了納米壓印技術(shù)、步進及套刻納米壓印技術(shù),以及其在半導(dǎo)體方面的應(yīng)用及相關(guān)優(yōu)勢。史總表示:“壓印是一種低成本的微納圖形復(fù)制技術(shù)??梢栽诘统杀镜那闆r下做大量纖維非常小的結(jié)構(gòu),這是它主要優(yōu)勢。但它是工藝、設(shè)備、耗材三要素必須結(jié)合的方案型技術(shù)。”
在步進及對位納米壓印技術(shù)應(yīng)用方面,史總提到當前如AR模板,超透鏡模板等的拼接制作上有幾個難點需要攻克:一、圖案傳遞的保真性;二、拼接位置的精度;三、良品率的控制等。
全國產(chǎn)大口徑離子束設(shè)備在微納光學(xué)中的應(yīng)用
易洪波
博頓光電科技有限公司 副總經(jīng)理
報告以“全國產(chǎn)大口徑離子束設(shè)備在微納光學(xué)中的應(yīng)用”為主題,從離子束流操控原理、工藝設(shè)備方案和離子束鍍膜、刻蝕、減薄、拋光、應(yīng)力釋放等工藝機理方面,全面介紹離子束設(shè)備及其關(guān)鍵零部件離子源的全國產(chǎn)化解決方案。
易總指出,離子束微納加工應(yīng)用場景非常廣泛,優(yōu)勢突出,具有增、減、改三大性能??捎行У慕鉀Q微納光學(xué)領(lǐng)域的一些難題,包括大口徑、曲面或者特殊材料,在超薄、超低吸收、超高均勻性等方面都有一定的優(yōu)勢。
位移泰伯光刻技術(shù):一種光電應(yīng)用的批量生產(chǎn)解決方案
王濤
北京優(yōu)利賽爾科技有限公司EULITHA 中國區(qū)銷售總監(jiān)
王總以“位移泰伯光刻技術(shù):一種光電應(yīng)用的批量生產(chǎn)解決方案”為題,帶來前沿光刻技術(shù)分享。該技術(shù)基于DTL技術(shù),主要針對于光電領(lǐng)域,比如說二維的周期性結(jié)構(gòu)應(yīng)用,具有大視場、高景深、高分辨的特點。作為新的圖案設(shè)計工具,DTL技術(shù)具備更靈活的圖案加工能力。有大面積納米周期圖案需求的領(lǐng)域,在光的產(chǎn)生、傳導(dǎo)、 調(diào)控、 探測等領(lǐng)域都有廣闊的應(yīng)用前景。
納米壓印光刻:微納光學(xué)結(jié)構(gòu)加工解決方案
冀然 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司 董事長
報告以“納米壓印光刻:微納光學(xué)結(jié)構(gòu)加工解決方案”為題,闡述了納米壓印光刻的幾大優(yōu)點:一、成本低廉,可在很便宜的設(shè)備條件下,實現(xiàn)很高的結(jié)構(gòu)精度;二、具有結(jié)構(gòu)多樣性,可實現(xiàn)三維的光學(xué)結(jié)構(gòu);三、材料選擇限制小,可以用玻璃作為結(jié)構(gòu)的載體,直接在表面壓印出光學(xué)結(jié)構(gòu),形成可以用于消費級的器件。這些優(yōu)勢都決定了納米壓印光刻在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用。冀總還指出,目前納米壓印光刻的主要市場其中之一是消費類產(chǎn)品,例如手機的人臉識別、3D攝像的光學(xué)器件屏幕指紋識別、車載光學(xué)AR HUD等。
超精密加工技術(shù)及其應(yīng)用
王文奎 博士
香港理工大學(xué)工業(yè)及系統(tǒng)工程學(xué)系 超精密加工技術(shù)國家重點實驗室 工程師
(港理工杜雪團隊)
超精密加工技術(shù)之加工精度可以達至亞微米級的形狀精度和納米級的表面粗糙度,它是當今科技創(chuàng)新的重要支撐技術(shù)之一,在光電子學(xué)、機電一體化、光學(xué)、通訊、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。
本次報告王老師以“超精密加工技術(shù)及其應(yīng)用”為題,介紹了團隊在超精密加工技術(shù)中的單點金剛石加工的一些研究工作,具體涉及一些非球面表面、微納結(jié)構(gòu)表面、自由曲面表面等在多種材料上的加工實現(xiàn),及其在新型光電產(chǎn)品中的應(yīng)用。
超光滑拋光技術(shù)及應(yīng)用探索
張旭川 研究員
國家科技專家?guī)?專家
成都貝瑞光電科技股份有限公司 董事長
報告從超光滑拋光技術(shù)的科學(xué)背景出發(fā),介紹了超光滑拋光技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢。
張總表示:“隨著國家發(fā)展硬核科技,超光滑拋光技術(shù)+超光滑表面光學(xué)元件會得到越來越多的重視和應(yīng)用。特別是最近幾年,國內(nèi)對這方面的需求明顯增加,而且出現(xiàn)在不同的領(lǐng)域。那怎么實現(xiàn)多技術(shù)的融合,特別是怎么用AI智慧制造,如何在材料、精密設(shè)備、精密檢測、精密鍍膜各方面進行協(xié)同創(chuàng)新,都是當前需要深度思考的問題。”
DUV光刻級合成石英研制進展
錢宜剛
南通晶體有限公司 總經(jīng)理
(會議現(xiàn)場由馬俊逸先生代為演講)
南通晶體代表提出:合成石英具有極佳的光譜特性,優(yōu)良的耐高溫性能,化學(xué)穩(wěn)定性強,熱穩(wěn)定性好,電絕緣性好??蓱?yīng)用于遙感衛(wèi)星用窗口和鏡頭、核技術(shù)用石英鏡頭、激光干涉儀等。當前紫外合成石英性能需求為以下六點:一、紫外高透過率;二、耐輻射性能;三、低金屬雜質(zhì)含量;四、低羥基含量;五、低應(yīng)力雙折射;六、高光學(xué)均勻性。
感謝以上嘉賓的精彩演講和高質(zhì)量內(nèi)容產(chǎn)出!本次大會共計舉辦兩天,明天我們即將帶來:機器視覺與人工智能擦出的火花—機器視覺賦能工業(yè)應(yīng)用 和 “遇”見光學(xué)薄膜未來:光學(xué)薄膜設(shè)計、制造及應(yīng)用專題演講及討論,敬請期待!
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