半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)供水管網(wǎng)設(shè)計特點
　　半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備從設(shè)計安裝到應(yīng)用，都是一套完成的體系，得到了廣大客戶的認(rèn)可，滿足了行業(yè)的用水需求。
　　半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)供水管網(wǎng)設(shè)計特點
　　一個完整的超純水設(shè)備系統(tǒng)的設(shè)計除了生產(chǎn)流程外，供水管網(wǎng)的設(shè)計也。管網(wǎng)的設(shè)計既要滿足工藝使用點的流量和壓力要求，更要保證生產(chǎn)出的超純水在經(jīng)過管網(wǎng)的分配輸送后品質(zhì)不受污染。
　　1、選用HP—PVDF(高純度聚偏二氟乙烯)的管材和閥門管件，采用紅外線熱融連接，盡可能避免管道材料中的雜質(zhì)溶出污染水質(zhì)。
　　2、供水主管路流速控制在1.2～2.4m/s，回水主管路流速控制在～1m/s，減少超純水在循環(huán)管網(wǎng)內(nèi)的停留時間，抑制有機物和細(xì)菌數(shù)的升高。

　　3、避免出現(xiàn)流體死角滋生細(xì)菌?？赡墚a(chǎn)生流體死角的長度不得超過后段管道直徑的1.5倍。設(shè)計中選用隔膜閥既便于調(diào)節(jié)流量，又可避免出現(xiàn)流體死角;選用異徑三通代替等徑三通加異徑管也是一項有效措施。
　　4、在每一路支管的根部設(shè)計殺菌消毒接口和排放口，可以在某一路支管受到污染時及時處理，避免影響整個管網(wǎng)。殺菌消毒可選用臭氧或雙氧水。早期設(shè)計的管網(wǎng)一般為一供一回形式，在實際操作運行過程中發(fā)現(xiàn)供水的流量和壓力較難調(diào)節(jié)，容易出現(xiàn)管網(wǎng)近端大量用水時遠(yuǎn)端工藝使用點的流量和壓力難以保證的情況。在本設(shè)計中采用壓力回水的方式可有效防止上述情形的發(fā)生。