半導(dǎo)體材料氣體 xps-7
特點(diǎn):
¬ 只要更換傳感器單元就可以檢測(cè)對(duì)象氣體
¬ 用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行檢測(cè)器校正
¬ 大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
型號(hào) | XPS-7 |
檢測(cè)原理 | 定電位電解式 |
檢測(cè)氣體對(duì)象 | 半導(dǎo)體材料氣體及臭氧等 |
指示范圍 | 根據(jù)要求 |
分辨率 | 、硅烷氯、氣氨氣等0.1ppm,磷烷0.01ppm |
指示精度 | 按氣體不同精度有所不同 |
報(bào)警模式 | 2段報(bào)警方式 |
報(bào)警方式 | 蜂鳴器(間歇音)、報(bào)警燈閃爍 |
應(yīng)答時(shí)間 | 60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答) |
電源 | 5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC專用變壓器 |
電池使用時(shí)間 | 連續(xù)12小時(shí)以上 |
外型尺寸 | W762×H150×D128(除去突起物) |
檢測(cè)方式 | 泵吸式 |
使用溫度范圍 | 0℃~40℃ |
重量 | 約1.3kg |
附件 | 肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾紙兩張 |
選購(gòu)件 | AC專用變壓器、傳感器專用通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件 |
檢測(cè)氣體一覽表:
XPS-7對(duì)象氣體一覽表 |
| |||||||
型號(hào) | 氣體 | F.S | 型號(hào) | 氣體 | F.S | 型號(hào) | 氣體 | F.S |
XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
XPS-7DC | SiHCL3 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XPS-7AS | AsH3 | 250ppb | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 1ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
XPS-7BH | B2H6 | 500ppb | XPS-7HF | BF3 | 1PPM | XPS-7NO | NO | 100ppm |
XPS-7SE | H2Se | 250ppb | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |
|
所有評(píng)論僅代表網(wǎng)友意見,與本站立場(chǎng)無(wú)關(guān)。