OAI INSTRUMENTS光源

     OAI INSTRUMENTS是業(yè)內生產可靠并精密設備的MEMS，半導體，納米技術，潔凈室自動化和紫外線光測量的優(yōu)秀制造商。OAI系統(tǒng)可同時用于研發(fā)和生產半導體，MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業(yè)中的者超過35年。OAI光功率計以其測量精度，重復性著稱，測量數(shù)據(jù)符合美國NIST標準，廣泛應用于半導體光刻能量測量及控制。

產品范圍：OAI INSTRUMENTS光源

美國OAI INSTRUMENTS曝光機、OAI INSTRUMENTS光刻機、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計、OAI INSTRUMENTS分析儀

主要型號：OAI INSTRUMENTS光源

Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459

美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介：

光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式

曝光距離：0-3000μm

間隙調節(jié)步進：1um

機械精度：1.5um

光刻精度：軟接觸2um,硬接觸小于1um

美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術規(guī)格：

光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式

基底尺寸：2-12寸晶圓或者zui大200mm方形

曝光分辨率：

真空接觸:0.5-0.8um

硬接觸:0.8-1.0um

軟接觸:1.0-3.0um

接近式(20um 間隙):3.0um

曝光均勻性：優(yōu)于±3%

對準精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）

產量：180片/小時zui大

我司優(yōu)勢提供：

STORK-TRONIC   溫控探頭       TF PTC 6×100mm -35/105℃ 6m IP64

STUBBE（ASV-STUBBE） 氣動閥    TYP;K210 NO;644610802

STUBBE（ASV-STUBBE） 氣動閥    TYP;K210 NO;644610802

STUBBE（ASV-STUBBE） 氣動閥    TYP;K210 NO;644610802

TAPFLO 氣動隔膜泵    TR20 TTT-7PV

TECMOTION 電動機    SM4065-P32/4.28-E2-500-157-I 24V-1100tr/min+E2-500-157-1-D-D-B

TECMOTION 電動機    SM4065-P32/4.28-E2-500-157-I 24V-1100tr/min+E2-500-157-1-D-D-B

TECNOCABLAGGI      變壓器    COD.PSPMKS200003500004

TECSYSTEM 過負荷保護    T-154 AC/DC 24-240V

TECSYSTEM 變壓器溫控器       T154ED 08 24+240Vdc/ac

TECSYSTEM 變壓器溫控器       T154ED 08 24+240Vdc/ac

TER 急停按鈕       PRSL1001PI

TER 凸輪開關       PFA9067A0050005

TUNKERS     氣缸      PKS16-1-A00T03-105GRAD_構型

VAISALA      溫濕度傳感器      HMW82

Val.co（valco）     浮球液位開關       S1.B45.7.0100.O.FDPX

VALTEK 氣動增速器    Supply：150psi MAX  conn：3/4-inch NPT

WALTHER(Walther Prazision)      接頭       HP-010-2-S1220-12-2

WATSON SMITH   電氣轉換器    422_4-20mA 3-15Psi

WATSON SMITH   電氣轉換器    INTRINSICALLY SAFE I/P CONVERTER：TYPE 122,輸入：4-20mA

WEIGEL 交流電壓變送器    V1U2.2 輸入0-115V 48-60HZ 輸出4-20MA 工作電源UH195-293V

WEIGEL 交流電流變送器    A1U2.2 輸入0-5V 輸出4-20MA 工作電源220V