日本東麗toray氧氣表MS-500
- z多可以同時測量8個點
- 濃度范圍從ppm到100均可顯示。
- 非常適合安裝在半導體制造設備，真空設備等上。
- 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
- 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器，以進一步提高耐用性。
日本東麗toray氧氣表MS-500
MS-500設備規(guī)格
測量原理 | 氧化鋯輕型電池 | ||
形狀 | 分體式（轉換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） | ||
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓 | ||
重復性 | 在±0.5％FS 0-1％范圍內或以上 | ||
測量點數(shù) | 1-8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa（壓力） | |
流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴散狀態(tài)的測量） | ||
濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
比較氣 | 大氣層 | ||
記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
變速箱輸出 | RS-232C | ||
報警輸出 | 沒有 | ||
熱身時間 | 6分鐘以內 | ||
尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） | |
MS-510（轉換器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） | ||
傳感器單元 | SD16NW | 總長100 mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） | |
SD25NW | 總長100mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） | ||
SD40NW | 總長100 mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） | ||
大眾 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
MS-510（轉換器） | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） | ||
使用電源 | 24VDC±10％ | ||
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